Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 #9205415 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2800 Rapid Thermal Processor ist ein Werkzeug zur Hochgeschwindigkeitsbearbeitung von dicken Schichten für Halbleitermaterial. Es ermöglicht die thermische Verarbeitung von Folien in einer effizienten thermischen Umgebung, wodurch eine schnelle Rampenrate und die Beseitigung von thermischen Gradienten. Der Prozessor verfügt über eingebaute Luftrezirkulationstechnologie, die gleichmäßige Temperaturen während der Oberflächenheizung gewährleistet. Die Temperatursensoren des Prozessors eliminieren die Auswirkungen thermischer Gradienten und machen sie zuverlässiger. Die hohen Temperaturbereiche von bis zu 900 ° C und 1350 ° C ermöglichen die schnelle thermische Verarbeitung von dicken Folien. Es hat auch eine Niederdruckoxidations-, Reduktions- und Nitridationszone, die weitere Herstellung und Anwendungen von Material während der Verarbeitung ermöglicht. Der Prozessor weist eine variable Kühlquelle mit einem Regler und einer zusätzlichen Kühlquelle zur Temperaturregelung auf. Es bietet auch eine Vielzahl von Zwangsgaskühlsystemen einschließlich Luft und Stickstoff. Je nach Anwendung kann der Benutzer die Kühlmenge auswählen. Ein weiteres Feature von AST 2800 ist seine integrierte Mehrzonen-programmierbare Software. Dies ermöglicht die Verarbeitung unterschiedlicher Filmdicken bei unterschiedlichen Temperaturen mit jeder Zone mit eigenem Regler. Ein Benutzer kann auch vorinstallierte Programme für schnelle Rüstzeiten und zur Koordination mehrerer Rezepte mit unterschiedlichen Temperaturprozessen verwenden. Der Prozessor bietet verstellbare Waferkassettenhalter, um eine flache und gleichmäßige Verarbeitung zu gewährleisten. Es ist auch in der Lage, Vortragsprozesse zu grundieren, zu entbeinen und an der Vorderseite zu lehren. Die Robot-Schnittstelle ermöglicht vollfacetten Wafer-Transfer und Entladen. STEAG AST2800 ist ein wertvolles Werkzeug, das von einer Vielzahl von Branchen wie Compound und organischen Halbleitern profitiert. Es wird für die schnelle thermische Verarbeitung von Materialien wie Dielektrika und Metalle verwendet, um die Herstellung und Anwendung neuer Halbleitermaterialien zu ermöglichen. Die einfache Bedienung und Genauigkeit ermöglicht eine erhöhte Produktion und Effizienz in einer Vielzahl von Branchen.