Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 #9244813 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2800 ist ein schneller thermischer Prozessor, der eine vollautomatische Wärmebehandlungslösung für Materialien bietet. Dieser Prozessor bietet fortschrittliche thermische Homogenisierung, Oxidation/Reduktion Fähigkeiten, und schnelle thermische Zyklen für eine Reihe von Halbleiterprozessen. Die Hochgeschwindigkeits-Datenerfassungs- und Berichtssysteme sorgen für Wiederholbarkeit der Ergebnisse und eine verbesserte Systemsteuerung. Dieser schnelle thermische Prozessor besteht aus einem GaAs-Waferheizer, thermoelektrischem Kühler, H-Bridge-Controller, Anwendungssteuerung und Prozessüberwachung. Mit diesen Komponenten ist der Prozessor in der Lage, eine fortschrittliche thermische Konditionierung für einzelne oder mehrere Wafer in Bearbeitungs- und Glühzyklen zu liefern. Es bietet eine präzise Temperaturprogrammierung mit Bereichen von -160 ° C bis + 850 ° C. Geringe thermische Gradienten über den Wafer werden durch eine hochgenaue Temperaturregelung während des gesamten Laufzeitverarbeitungszyklus erreicht. Der Prozessor kann bis zu neun gestapelte Wafer oder Substrate in einem einzigen Lauf oder mehrere Läufe mit 12 verschiedenen Raten und Energien aufnehmen. Darüber hinaus liefern integrierte Sensoren Echtzeitdaten zur Überwachung des thermischen Prozesses und ermöglichen eine engere Prozesssteuerung. Diese Daten können auch verwendet werden, um Prozessparameter zu aktualisieren und prädiktive Modelle für optimale Prozessergebnisse zu erstellen. Das System ist mit AutoTune-Software ausgestattet, die nicht nur Kernprozessparameter, sondern auch Heizungstyp, Heizleistung und Heizgeschwindigkeit optimiert. Darüber hinaus hilft die selektive Kantenheizung bei der Passivierung beheizter Waferkanten und verhindert so dielektrische Integritätsprobleme. Die automatisierte Systemsteuerung und Überwachung von AST 2800 machen es ideal für schnelle thermische Verarbeitungsanwendungen in der Photovoltaik- und LED-Produktion. Das All-in-One-Design vereinfacht Setup, Betrieb und Prozessüberprüfung und sorgt für wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse. Darüber hinaus kann dieser Prozessor in bestehende Produktionslinien integriert werden, was eine vollständige Integration der Temperaturerfassung und -steuerung ermöglicht.