Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800E #9103115 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2800E Rapid Thermal Processor (RTP) ist eine thermische Bearbeitungslösung aus einer Hand für die Entwicklung und Prüfung einer Vielzahl von verpackten Geräten. Mit einem breiten Spektrum an Prozesstemperaturen (200-1000 ° C), schnellen Taktzeiten (bis zu 3 Sekunden) und einer robusten Temperaturregelung bietet dieses Gerät Zuverlässigkeit und konstante Leistung. Das RTP ist für einfache Bedienung konzipiert, mit zwei unabhängigen Temperaturzonen, einer SPS-Steuerung und einer intuitiven Software mit automatischer Rezeptauswahl. Das Gerät ist CSA-zertifiziert und entspricht den Standards SEMI E63 und E77. Der modulare Aufbau der Maschine macht sie ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter: RTP-LIN bis 1000 ° C; Prozessoptimierung und Debugging; HTOL Electro Thermal Stress Test (HTEST); OTA-Studien; EMISS/CIS-Test; und Die-to-Die-Verbindungen. Die LED-Anzeige mit intuitiver Benutzeroberfläche, vollständiger Überwachung aller Parameter und flexiblen Programmierfunktionen bieten Benutzern Echtzeit-Überwachungs- und Steuerungsfunktionen. Das RTP ist auf eine Reihe von Konfigurationsoptionen einstellbar, wie beispielsweise Wafergrößen, verschiedene Prozesskammern und automatisierte Be-/Entladesysteme. Die integrierte Vakuumpumpe ermöglicht Prozesstemperaturen bis 1000 ° C. Die RTP ist mit einer patentierten „All-in-One“ -Konvektionsjacke gebaut, in der das innere Temperaturprofil sehr homogen gegenüber traditionellen, begrenzten Kammerdesigns ist. Die Verwendung dieses kritischen Hohlraums gewährleistet eine Temperaturschwankung von weniger als 0,25 ° C über den gesamten Wafer. Das RTP ist auch mit einem fortschrittlichen elektrischen sauberen Werkzeug ausgestattet, um Kontaminationen durch ionische Partikel und Wasser zu vermeiden. Die Abgasanlage verfügt über automatische Ex-Filtration und A/C-Kondensator-Trennung. Das RTP ist mit einem „nur trockenen“ Schutz ausgestattet, der den Einsatz von Flüssigkeitskühlung vermeidet. Das RTP kommt auch mit einer Reihe von Prozessoptionen: RTP-HTOL, RTP-STOL, RTP-HTOLES, RTP-LINC, RTP-TABLE, RTP-HSO. Diese Optionen ermöglichen verschiedene Prozesskombinationen wie Hochtemperaturrampe, schnelles thermisches Glühen im Hochvakuum bis 1000 ° C, Elektromigration, HTOL, einzelne Wafer schnelle thermische Verarbeitung bis 1000 ° C, Tieftemperaturofen zum Aufwärmen und Abkühlen. Insgesamt ist AST 2800E Rapid Thermal Processor eine zuverlässige Lösung für eine Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanforderungen. Es bietet Hochtemperaturleistung mit schnellen Zykluszeiten, zuverlässiger Temperaturregelung, hochwertiger Leistung und robustem Design für wiederholbare Ergebnisse.