Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2900 #9182434 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2900 Rapid Thermal Processor (RTP) ist ein fortschrittliches Hochtemperatur-Bearbeitungswerkzeug, das für den Einsatz in einer Vielzahl von Hochtemperaturprozessen entwickelt wurde. Das RTP ist in der Lage, schnell einen Temperaturbereich von 300 ° C bis 1200 ° C (je nach Modell) zu erreichen, mit einer maximalen Rampenrate von 300 ° C/Sekunde. Das System besteht aus vier Hauptkomponenten: Förderer, Ofenherd, Wärmeprozessor und Kühlstation. Der RTP-Förderer ist entworfen, um eine Vielzahl von Substratgrößen zu akzeptieren, mit kundenspezifischen Designs zur Aufnahme von Nicht-Standard-Substraten. Der Förderer bietet ein zuverlässiges, wiederholbares Verfahren zum Transport von Materialien durch das RTP-Thermoprofil. Die Bewegung des Förderers wird über einen geschlossenen Mikroprozessor mit einstellbaren Einstellungen für Geschwindigkeit, Beschleunigung/Verzögerung und Richtung gesteuert. Die maximale Bandgeschwindigkeit beträgt über 630 mm/Sekunde. Der 44 „lange Ofenherd ist in der Lage, mehrere Substrate unterschiedlicher Größe zu halten, und er ist in einem wassergekühlten Quarzrohr mit 3“ Innendämmung untergebracht. Herd und Substrat werden innerhalb des Ofens eingeschlossen, wenn die Temperatur ansteigt und abnimmt. Der Ofen erreicht einen Temperaturbereich von 300 ° C bis 1200 ° C mit einer Genauigkeit von +/- 1 ° C und ist in der Lage, schnelle Temperaturrampen bis 300 ° C/Sekunde zu erreichen. Der RTP Wärmeprozessor ist mit einer Suite von drei unabhängigen Regelkreisen ausgestattet. Jede Schleife behält die Steuerung ihrer eigenen Parameter wie Temperatur, Einweichzeit und Rampenrate. Die drei Regelkreise arbeiten parallel und können für jede Substratgröße und jedes Verfahren individuell eingestellt werden. Das RTP ermöglicht mehrere Temperaturprofile mit einstellbaren Verweilzeiten, Vorreinigungsatmosphäre und Trimmatmosphäre, so dass vielseitige Konfigurationen für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind. Schließlich ist die Kühlstation so ausgelegt, dass sie die Materialien vor dem Austritt aus dem RTP auf eine sichere und geeignete Handhabungstemperatur abkühlt. Die Kühlrate ist einstellbar, so dass unterschiedliche Kühlprofile für bestimmte Anwendungen geeignet sind. Abschließend ist der schnelle thermische Prozessor AST 2900 ein hochkonfigurierbares, zuverlässiges und wiederholbares Bearbeitungswerkzeug, das für eine Vielzahl von Hochtemperaturprozessen geeignet ist. Seine erweiterten Eigenschaften und Temperaturbereich machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für eine Vielzahl von Fertigungsanwendungen.