Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2900 #9224563 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2900 ist ein High-End Rapid Thermal Processing Equipment (RTP) zur Optimierung von Prozessentwicklung und Performance. Es verfügt über einen zweistufigen Prozess des schnellen thermischen Glühens (RTA), gefolgt von einer schnellen thermischen Oxidation (RTO), wodurch Anwender die Flexibilität erhalten, die Verarbeitungsparameter schnell zu steuern und Prozesse zu optimieren. Das System eignet sich gut für kommerzielle, prototypische und Forschungsanwendungen in einer Reihe von spezialisierten Prozessen in den Bereichen Mikroelektronik, elektronische Verpackung und Halbleiterherstellung. AST 2900 bietet Anwendern eine beeindruckende Kombination aus Verarbeitungsleistung und Geschwindigkeit, so dass sie Parameter schnell anpassen und Verarbeitungsaufgaben effizient abschließen können. Die TPA-Temperaturkammer am Gerät ist auf Temperaturgleichmäßigkeit und Flexibilität ausgelegt. Es hat eine einstellbare Heizrate von bis zu 150 ° C/s und kann bei Temperaturen bis 1000 ° C eine schnelle thermische Glühung (RTA) oder eine schnelle thermische Oxidation (RTO) durchführen. Sein Gleichmäßigkeitskontrast der Temperaturkammer ist ≤1.25°C und seine Temperaturgleichförmigkeit (TU) beträgt 2,25 ° C oder besser. Die Maschine verwendet eine geschlossene Gasanalyseeinheit, um den Sauerstoffzustrom zu erkennen und anzupassen, der für eine schnelle thermische Oxidation (RTO) erforderlich ist. Dieses unabhängige Thermo- und Gasstromregelwerkzeug eignet sich ideal zur Reduzierung der Sauerstoff/Stickstoff-Durchsatzraten und minimiert die Ausgasung auf die gewünschten Verbrauchswerte, um die TOX- und RTO-Anforderungen genau zu bestimmen. Die schnellen thermischen Verarbeitungsmöglichkeiten der STEAG 2900 werden durch die programmierbare Auswahl von Prozess- und Ofensteuerungsparametern ergänzt: statische Druckregelung, Hochdruckgasregelung, Temperatur, Gasfluss, Ampere-/Leistungsregelung und Frequenzregelung. Diese Reihe von Steuerungsmöglichkeiten ermöglicht es dem Benutzer, die Prozesse für optimale Ergebnisse anzupassen. Das Asset verfügt außerdem über erweiterte Funktionen zur Datenprotokollierung und grafischen Darstellung, mit denen die Modellleistung überwacht und Prozessanomalien frühzeitig erkannt werden können. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) bietet eine Echtzeit-Überwachung des RTP-Prozesses und ermöglicht schnelle und effektive Diagnosen. Insgesamt ist 2900 ein effizienter und zuverlässiger Schnellwärmeprozessor, der perfekt für fortschrittliche Prototypenentwicklung, Prozessdesign und kommerzielle Produktionsanforderungen geeignet ist. Es verfügt über eine breite Palette von erweiterten Prozesskontrolleinstellungen, Temperaturgleichmäßigkeit, Sauerstoffzuflussanpassung und Datenerfassungsfunktionen, so dass Benutzer Prozesse effizient für optimale Ergebnisse optimieren können.