Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 3000 plus #9281776 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 3000 plus ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der eine Kombination von Temperaturen von Raumtemperatur bis 1500˚C nutzt. Diese Technologie wird bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzt, da sie zur Wärmebehandlung bei vorgegebenen Temperaturen und Zeitskalen in der Lage ist. Dieses RTP verfolgt einen modularen Ansatz und besteht aus drei Komponenten, die die Advanced Process Control, die robuste thermische Kammer und das effiziente Konvektionssystem umfassen. Mit der Advanced Process Control können präzise Temperaturprogramme programmiert werden, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Es bietet genaue Temperaturmessungen in kurzen Probenbearbeitungszeiten, minimiert Restspannungen in einer Probe und ermöglicht reproduzierbare Ergebnisse aufgrund seiner hohen thermischen Genauigkeit. Die robuste Wärmekammer besteht aus einer großen Hochleistungs-Heizzone, eine bewegliche Wand sorgt für eine gleichmäßige thermische Verarbeitung und ihre miteinander verbundenen Teile ermöglichen die Programmierung von Prozesssteuerungsfähigkeiten über weite Temperaturbereiche. Schließlich ermöglicht das effiziente Konvektionssystem schnelle thermische Prozesse bei hohen Temperaturen, ohne Bewegungsartefakte einzuführen. AST 3000 plus ermöglicht eine Hochleistungsverarbeitung, die extrem präzise und konsistent ist. Der aufnahmefähige Temperaturbereich des Geräts ermöglicht die Verwendung für eine Vielzahl von Anwendungen wie Wafer-Abscheidung/Ätzen, Geräteherstellung und ALD/CVD-Prozesse. Die hohe Verarbeitungsgeschwindigkeit und das verbesserte thermische System machen dieses RTP zur perfekten Wahl für jede Organisation, die eine präzise und wiederholbare thermische Verarbeitung benötigt. Darüber hinaus ist dieses Gerät in der Lage, hohe Temperaturen für längere Zeit aufrechtzuerhalten, ohne die Sicherheit des Bedieners zu beeinträchtigen.