Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 3000 #293814736 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 3000 ist ein schneller thermischer Prozessor, der speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen auf Produktionsebene entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um die Zykluszeit so weit wie möglich zu reduzieren und gleichzeitig die Qualität der verarbeiteten Geräte zu erhalten. AST 3000 nutzt eine Vorkonditionierkammer, die dafür ausgelegt ist, die benötigte Menge an Substratmaterial schnell und präzise zu erwärmen und zu kühlen, um hohe Durchsatzanforderungen zu erfüllen, ohne die Leistung zu beeinträchtigen. Die Maschine ist in der Lage, das Substrat auf Temperaturen bis zu 1250C zu erwärmen, um die für die Geräteerzeugung notwendigen Reaktionen richtig zu stimulieren. STEAG 3000 verwendet eine Hochtemperaturumgebung, um Geräteschäden durch lange Zykluszeiten zu minimieren. Dies geschieht durch Verwendung eines mehrsegmentigen thermischen Programms, um das thermische Profil kontinuierlich auf die für den Prozess erforderliche exakte Temperatur abzustimmen. Der Temperaturregler verhindert auch eine Abscheidung oder Oxidation des Substrats durch thermisches Overkill. 3000 verwendet eine Dual-HF-Stromquelle mit schnellem Umschalten zwischen den beiden Frequenzen für maximale thermische Gleichmäßigkeit. MATTSON 3000 verfügt zudem über ein integriertes Prozessüberwachungssystem, das den Status jedes Substrats kontinuierlich überprüft, um einen möglichst hohen Durchsatz zu gewährleisten. Dazu gehört die kontinuierliche Überwachung der Substrattemperatur, des Gasflusses und des Drucks während des gesamten Prozesses. Auch hochpräzise messtechnische Werkzeuge sind in diesem System enthalten, um sicherzustellen, dass die gewünschten Prozessergebnisse eingehalten werden. STEAG/MATTSON/AST 3000 verfügt über eine Auswahl von benutzerprogrammierbaren Optionen, mit denen Prozessrezepte einfach zwischen verschiedenen Maschinen übertragen werden können. Dies ermöglicht mehrere Prozessrezepte und trägt dazu bei, die Wiederholbarkeit der Prozesse auf mehreren Maschinen sicherzustellen. Darüber hinaus kann AST 3000 mit einer Vielzahl von Optionen zur Kantenisolierung ausgestattet werden, einschließlich der Isolierung mit Stickstoff, Helium und Chlor, die für hohe Produktionserträge ausgelegt sind. Insgesamt ist STEAG 3000 ein leistungsfähiger, zuverlässiger und effizienter schneller thermischer Prozessor, der sich perfekt für die Herstellung von Halbleiterbauelementen auf Produktionsebene eignet. Es bietet eine einfach zu bedienende Benutzeroberfläche sowie anpassbare Prozessrezepte für erstklassige Leistung und Ausgabe. Seine vielen Funktionen, einschließlich Temperaturregelung und Prozessüberwachung, machen es zu einer guten Wahl für beschäftigte Halbleiterhersteller.