Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095994 zu verkaufen
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ID: 9095994
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Rapid Thermal Processing (RTP) System, 12"
2004 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 3000 ist ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der in kurzen Zykluszeiten zuverlässige Verarbeitungsergebnisse liefert. Es verfügt über eine hohe Temperatur, hohe Heizleistung und ist in der Lage, drei 150mm Waferträger in weniger als zehn Sekunden auf Temperaturen bis zu 1100 ° C zu heizen. Die Verwendung einer großen Waferoberfläche führt zu einem extrem homogenen Heizeffekt, während der Einsatz der neuesten Schnellabkühltechnologie eine schnelle Trendwende von Prozess zu Prozess gewährleistet. Dieser fortschrittliche schnelle thermische Prozessor nutzt eine drei Zone; Hochtemperatur, mittlere Temperatur und Niedertemperatur Kammersystem, das entworfen ist, um gleichmäßige Temperaturen und Temperaturen Langlebigkeit zur Verfügung zu stellen, die Zuverlässigkeit und Genauigkeit der Heizfunktionen weiter zu erhöhen. Seine geringe Drift und geringe thermische Steigungen sorgen dafür, dass Teile genau und genau auf die gewünschte Temperatur erhitzt werden. Neben der Bereitstellung von Hochtemperatur, Hochleistungsverarbeitung bietet AST 3000 auch Prozessüberwachungsfunktionen, die sicherstellen, dass Prozesstemperatur und -zeiten auf sehr genaue Niveaus kontrolliert werden. Es verfügt auch über eine genaue Zeit-Temperatur-Monitor, so dass Benutzer in der Zeit-Temperatur-Daten zu jedem Prozess zugeordnet Faktoren. Darüber hinaus bietet das Gerät die Möglichkeit, bis zu 999 Skripte zu programmieren, die während vorprogrammierter Prozesse gespeichert werden können. Die robuste Konstruktion der STEAG 3000 sorgt für hohe Zuverlässigkeit bei geringem Wartungsaufwand. Seine Edelstahl-Bearbeitungskammer ist korrosions- und abriebfest, und die Vorrichtung erfordert keine Prozessspülung oder Wasserrückführung. Darüber hinaus ermöglicht das benutzerfreundliche LCD-Touchscreen-Display eine klare Überwachung des Status und der Einstellungen des schnellen Wärmeprozessors und bietet eine Reihe von Funktionen für die schnelle und einfache Dateneingabe, -manipulation und -speicherung. Darüber hinaus ist MATTSON 3000 mit sicherheitsrelevanten Funktionen wie Türverriegelungen, Waferträgerverriegelung, Übertemperaturverriegelungen, Überdruckwarnung und anderen ausgestattet. Dies sorgt für Sicherheit für die Betreiber, dass die Ausrüstung bei kritischen Operationen stabil und zuverlässig bleibt. Insgesamt ist 3000 ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der den anspruchsvollen Anforderungen moderner industrieller Produktion gerecht wird. Es kombiniert hohe Temperaturen, hohe Leistungsheizkapazitäten mit Prozessüberwachungsfunktionen, benutzerfreundliche LCD-Touchscreen-Displays und hohe Zuverlässigkeit und sicherheitsrelevante Funktionen, was es zu einem attraktiven Gerät für jede Produktionsumgebung macht.
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