Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095995 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 3000 ist ein Schnellwärmeprozessor (RTP) zur Behandlung von Halbleiterscheiben. Dieses vielseitige System wurde entwickelt, um eine sehr gleichmäßige Temperaturregelung und präzise entwickelte thermische Prozesse für eine erfolgreiche Ionenimplantation und eine breite Palette anderer Halbleiter- und optoelektronischer Anwendungen bereitzustellen. Das Gerät eignet sich ideal für die Entwicklung von Basislinien-Prozessen für die Produktion und garantiert eine präzise Temperaturumgebung für das schnelle thermische Glühen (RTA) sowie das Ofenglühen von stark dotierten Siliziummaterialien. Die Maschine bietet Hochgeschwindigkeits-Heiz- und Kühlfähigkeit über eine breite Palette von Temperaturen. Die Verwendung eines rotierenden Suszeptors gewährleistet eine gleichmäßige Wärmeverteilung innerhalb einer Probe. Es ist in der Lage, Temperaturen bis zu 1150 ° C zu halten. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur wird bei +/- 2 ° C gehalten und an der oberen, mittleren und unteren Oberfläche eines Wafers gemessen. Das Tool bietet auch Echtzeit-Überwachung und Kontrolle, um schnelle Reaktionszeiten zu gewährleisten. Insgesamt bietet AST 3000 eine umfassende thermische Verarbeitungsfähigkeit für Produktions- und Entwicklungsprozesse. Es verfügt über eine robuste Kammerkonstruktion, die eine einfache Wartung gewährleistet, sowie eine zuverlässige Elektronik für eine präzise Temperaturregelung. Seine Kompatibilität mit verschiedenen Umgebungen und Prozessrezepten machen das Gut für Forschungslabore und Verarbeitungszentren gleichermaßen attraktiv. Das Modell zeichnet sich durch seine patentierten Software-Algorithmen aus, die eine fortschrittliche Temperaturkompensation bieten und Gleichmäßigkeit und Genauigkeit über den gesamten Wafer aufrechterhalten. STEAG 3000 verfügt über eine begrenzte 3-jährige Garantie und umfasst eine Remote-Computeroberfläche und eine grafische Benutzeroberfläche (GUI). Dies ermöglicht die vollständige Integration mit werkseitigen Automatisierungssystemen und die Möglichkeit, lokal und remote auf die Geräte zuzugreifen. Das RTP ist auch mit Diagnose- und Fehlermanagementfunktionen ausgestattet, wodurch es einfach ist, bei Bedarf Korrekturmaßnahmen zu erkennen, zu diagnostizieren und durchzuführen. Insgesamt ist MATTSON 3000 ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor für eine breite Palette von Halbleiter- und optoelektronischen Anwendungen. Das robuste Design, die präzise Temperaturregelung, die Echtzeitüberwachung und -kontrolle sowie die Kompatibilität mit verschiedenen Umgebungen machen es zu einer attraktiven Option für Produktions- und Entwicklungsprozesse.