Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 3000 #9224637 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 3000 ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben mit hoher Wiederholgenauigkeit und Präzision. Dieses fortschrittliche System wurde entwickelt, um hochwertige und zuverlässige integrierte Schaltungen (ICs) herzustellen und eignet sich gut für die Verarbeitung selbst der hochkomplexesten Geräte. Dieses RTP besteht aus mehreren Hauptkomponenten wie Heizkammer, Temperaturregler, Be- und Entladestation, Schutzgehäuse, Wafer-Transfer-Roboter und Wafer-Spannfutter. Die Primärheizkammer von AST 3000 ist aus Edelstahl für überlegene thermische Stabilität und gleichmäßige Temperaturverteilung aufgebaut. Sein Temperaturbereich liegt zwischen -70 ° C und 1000 ° C mit einer Heiz- und Kühlrate von bis zu 200 ° C/Sekunde. Das RTP ist in einem eigenen Schutzschrank eingeschlossen, um die Sicherheit des Bedienungs- und Wartungspersonals zu gewährleisten. Der Temperaturregler ist programmiert, um das Kammertemperaturprofil genau zu regeln und mehrere Rampentemperaturen bei einem einzigen Lauf zu laufen. Der Prozessor ist einfach zu bedienen und intuitiv, mit einer LED-Anzeige und voller QWERTY-Tastatur für Eingabebefehle. Die Steuerung wird auch mit Kühl- und Prozessgasdurchflusssensoren für präzise und zuverlässige Leistung ausgestattet. Neben den Heiz- und Kühlelementen verfügt STEAG 3000 auch über einen Roboterarm zum Be- und Entladen von Wafern. Dieser Arm ist so programmiert, dass er die Wafer von der Speicherschale zum Wafer-Futter und umgekehrt bewegt. Das Wafer-Spannfutter wurde speziell entwickelt, um eine sichere Wafer-Handhabung zu gewährleisten, die Unterstützung und Ausrichtung während des schnellen thermischen Prozesses bietet. Zum zusätzlichen Schutz werden die Wafer weiter mit einem belüfteten Deckel befestigt, der auch als Feuchtigkeits- und Partikelbarriere fungiert. MATTSON 3000 ist ein fortschrittliches RTP-System, das auf maximale Effizienz und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. Seine robuste Konstruktion sorgt für gleichmäßige Heizung, Kühlung und Wafer-Handhabung, so dass es eine ideale Wahl für diejenigen, die hochwertige IC-Herstellung.