Gebraucht STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #9266541 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST AST 2900 ist ein Hochleistungs-Rapid-Thermal-Prozessor (RTP) für die fortschrittliche Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Es ist in der Lage, überlegene Wärme- und Geschwindigkeitsleistung in Anwendungen wie Epitaxiewachstum, Dotierungsaktivierung und Glühen zu bieten. AST 2900 kann unübertroffene Temperaturkontrollgenauigkeit und Wiederholbarkeit bereitstellen, so dass die Verarbeitung sehr zuverlässig und wiederholbar ist. Es ist eine horizontal montierte Ausrüstung mit einem einzigartigen bewachten Heizungsdesign ausgestattet, das eine gleichmäßige und gleichmäßige Erwärmung über den gesamten Waferdurchmesser gewährleistet. STEAG AST2900 ist in der Lage, Heizraten bis zu 5 ° C/Sekunde sowie Kühlraten bis 30 ° C/Sekunde unter Beibehaltung einer hervorragenden thermischen Regelung zu erreichen. Die STEAG 2900 verfügt über ein Gasfördersystem mit Schnellwechselkrümmern und Massenstromreglern, mit denen Kunden eine Vielzahl von Gasen für verschiedene Prozesse verwenden können. Zur Gewährleistung der Betriebssicherheit verfügt STEAG/MATTSON/AST 2900 über einen Bodenfehlerunterbrecher und zweistufige Sicherheitsventilsteuerungen mit automatischer Abschaltung. MATTSON AST2900 ist darüber hinaus mit einer hochmodernen Computersteuerung ausgestattet, die Benutzern die Möglichkeit bietet, Temperaturprofile und Sollwerte anzupassen sowie die Maschine zu überwachen und die Betriebsbedingungen zu überprüfen. AST AST 2900 ist ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der ausgezeichnete Temperaturgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es verfügt über schnelle Heiz- und Kühlraten, eine präzise Gaszufuhr und ein robustes Sicherheitswerkzeug. Dank seiner Computersteuerung haben Anwender die Flexibilität, Parameter an fortgeschrittene Prozesse anzupassen. MATTSON AST 2900 ist eine ideale Wahl für die Halbleiterverarbeitung und fortschrittliche Anwendungen wie epitaktisches Wachstum, Dotierungsaktivierung und Glühen.