Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Atoms #9229578 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Atoms ist ein schneller thermischer Prozessor (RTP), der in der Halbleiterindustrie für Verfahren wie Dünnschichtabscheidung, Oxidation, Glühen und Metallsputterabscheidung eingesetzt wird. Die Ausrüstung nutzt eine Reihe spezialisierter Temperaturregelungstechnologien, um gewünschte Temperaturen mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit schnell zu erreichen. Das System ist mit einem Quarz-Vertikalrohrofen (QVTF) und Gasströmungsfähigkeiten nach oben oder unten ausgestattet, die beide helfen, eine einheitliche und genaue Temperaturregelung über den Bereich von Interesse zu gewährleisten. Der QVTF ist ein vertikales Quarzrohr und sein einzigartiges Design ermöglicht eine effiziente Erwärmung und Behandlung des Wafers oder anderen Substrats. Der vertikale Rohrofen ist auf einer Plattform mit niedriger thermischer Masse montiert, die eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit und schnelle Temperaturänderungsraten bietet. Ein Air Forced Convection (AFC) Modul ist ebenfalls im Gerät enthalten. Das AFC-Modul kombiniert Luftstrom und begrenzten Gasstrom, um die gewünschte Erwärmung des Substrats zu gewährleisten. Dies erhöht die Gleichmäßigkeit der Temperatur innerhalb des Prozesses im Vergleich zu herkömmlichen Systemen, da turbulente Luftströme während der Behandlung um das Substrat erzeugt werden. Die Steuerung und Überwachung der Temperatur in der Maschine erfolgt über eine Reihe fortschrittlicher Komponenten, einschließlich eines Hochleistungsverstärkers, eines Mikroprozessors, eines Thermoelements, eines Temperatursensors und eines erweiterten Softwareprogramms. Diese Komponenten bieten eine hervorragende Präzision bei der Temperaturregelung. AST Atoms bietet eine Vielzahl von Temperaturprofilen, darunter Einzonenbehandlung, bis zu acht kontrollierte Zonen und bis zu 200 Konfigurationen. Die Möglichkeit, verschiedene Behandlungsprogramme gleichzeitig auf einer Plattform auszuführen, macht dieses Tool ideal für mehrere Bearbeitungsanforderungen. Darüber hinaus bietet die Anlage eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit und die Präzisionstemperaturregelung von STEAG Atoms macht sie zu einem der leistungsstärksten RTP-Systeme.