Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Atoms #9353268 zu verkaufen

Ein STEAG/MATTSON/AST Atoms ist ein schneller thermischer Prozessor, der ein revolutionäres, fortschrittliches, ultrareines, Hochtemperaturglühverfahren verwendet, um eine effektive und konsistente thermische Verarbeitung für eine verbesserte Leistung zu ermöglichen. Es ist mit einer hochpräzisen, digital gesteuerten Heizeinrichtung aufgebaut, um präzise Temperaturzyklen über einen beispiellosen Temperaturbereich zu ermöglichen. Der schnelle thermische Prozessor hat eine breite Palette von Eigenschaften und Fähigkeiten, einschließlich überlegene Stabilität, einstellbare Prozesszeit, zwei unabhängige Temperaturregelschleifen und ein fortschrittliches rückseitiges Wafertemperaturmesssystem. AST Atoms Prozessor verwendet eine digital gesteuerte berührungslose Widerstandsheizung, um die Oberfläche eines Siliziumwafers in weniger als neun Sekunden schnell auf eine gewünschte Temperatur zu erhitzen. Die Maschine arbeitet mit Kabeln, um Wirbelströme im Wafer zu erzeugen, die dann mit einem Induktionsheizwerkzeug weiter erwärmt werden. Mit diesen beiden Verfahren wird die erforderliche Temperatur schnell und konstant erreicht. STEAG Atoms Prozessor verfügt über zwei separate Temperaturregelschleifen, die parallel arbeiten, um eine effektive und optimale Temperaturregelung des Wafers während der thermischen Verarbeitung zu gewährleisten. Die erste Schleife ist ein Proportional-Integral-Derivat-Controller und die zweite ist ein Auto-Tune-Controller, der eine reibungslosere Regelung des Sollwerts ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer schnell und gleichmäßig auf eine konstant geregelte Temperatur erwärmt wird, ohne dass eine manuelle Einstellung oder Eingriff erforderlich ist. Atoms Prozessor verwendet auch eine erweiterte Rückseite Wafer Temperatur Messanlage durch eine Wafer Heckklemme Modell. Dadurch wird die Temperatur des Wafers während der thermischen Bearbeitung schnell gemessen und die Genauigkeit und Konsistenz gewährleistet. Die Rückseite Wafer Temperatur Messgeräte ist auch entwickelt, um unglaublich schnell und präzise zu sein, auch bei Temperaturen von mehr als 400 ° C. MATTSON Atoms schnelle thermische Prozessor ist ein erstaunliches Werkzeug, das Hersteller unglaublich präzise und konsistente Komponenten durch schnelle thermische Verarbeitung zu produzieren ermöglicht. STEAG/MATTSON/AST Atoms Prozessor ist mit seiner leistungsstarken Kombination aus Funktionen, überlegener Stabilität, einstellbarer Prozesszeit, doppelten Temperaturregelschleifen und fortschrittlichem Wafertemperaturmesssystem ein leistungsstarkes Werkzeug, das sich sowohl in Geschwindigkeit als auch Leistung hervorhebt.