Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios 6000 #9211048 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Helios 6000 ist ein Hochleistungs-Rapid-Thermal-Prozessor (RTP), der eine einzigartige Kombination aus bewährten fortschrittlichen Technologien und Komponenten verwendet. Diese High-End-Industrieranglösung wird für Halbleiteroblatenprozesssteuerungsingenieure und eine breite Reihe von Anwendungen entworfen, die schnelle Thermalverarbeitung verlangen. AST Helios 6000 verfügt über ein technisches, offenzelliges, zentralloses Suszeptor-Design, das schnellere Prozesszyklen und maximale Gleichmäßigkeit in einem breiten Arbeitsbereich ermöglicht. Das Ergebnis ist ein optimaler Durchsatz und eine überlegene Substraterwärmung. STEAG Helios 6000 bietet auch eine fortschrittliche thermische Steuerung mit direkter digitaler Rückkopplung und Echtzeit-Temperaturabtastung, was zu konsistenten thermischen Prozessen mit wiederholbaren Ergebnissen führt. Die Ausrüstung beinhaltet ein fortschrittliches automatisches Niveaumess- und Nivelliersystem, das gewährleistet, dass Wafer in der Verarbeitungszone konstant sicher gehalten werden und eine überlegene thermische Gleichmäßigkeit bieten. Helios 6000 umfasst auch ein digitales E/A-Teilsystem mit hoher Geschwindigkeit, das die vollständige Kontrolle über den Betrieb der Einheit bietet und die Kommunikation mit einer Host-Maschine erleichtert. Die erweiterte digitale Steuerungs- und Rückkopplungsfunktion ermöglicht es Benutzern, verbesserte thermische Prozessparameter einzustellen sowie den Prozess von einem entfernten Standort aus über eine browserbasierte Benutzeroberfläche zu überwachen und zu steuern. MATTSON Helios 6000 verfügt über ein erweitertes integriertes Prozesssteuerungstool mit einer intuitiven Bedienoberfläche für eine vereinfachte Bedienung. Die integrierten Rezept- und Prozesssteuerungsfunktionen des Asset ermöglichen es Benutzern, eine Bibliothek von Rezepten für eine Vielzahl verschiedener Prozesse zu speichern und ihre eigenen individuellen Rezepte zu entwickeln. Dies bietet unbegrenzte Skalierbarkeit und Flexibilität für automatisierte Rezepte, unter anderem. STEAG/MATTSON/AST Helios 6000 unterstützt auch die Prozessintegration mit externen Systemen zur Fehlerbehebung, Berichterstattung und anderen Anforderungen. AST Helios 6000 ist für maximale Zuverlässigkeit und Prozesswiederholbarkeit ausgelegt. Es bietet eine breite Arbeitsraumkapazität von bis zu 8,2 "und unterstützt sowohl einseitige als auch doppelseitige Substratheizung. Das Modell ist mit einem fortschrittlichen Gas/Durchflussregler ausgestattet, um eine optimale Gas-/Durchflussverteilung innerhalb des Arbeitsraums zu gewährleisten, während eine Medienleitblechbaugruppe hilft, den Medienstrom gleichmäßig zu verteilen und eine Temperaturgleichmäßigkeit zu erreichen. Insgesamt ist STEAG Helios 6000 ein fortschrittlicher und zuverlässiger schneller thermischer Prozessor, der eine hervorragende thermische Leistung und Prozesswiederholbarkeit bietet. Seine robuste Architektur und sein einzigartiges Design bieten die ultimative Leistung, Flexibilität und Skalierbarkeit für eine Vielzahl von Anwendungen und Prozesssteuerungsanforderungen.