Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #293593150 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein Schnellwärmeprozessor (RTP) für Anwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, Dünnschichten und Nanotechnologie. Dieses Gerät nutzt eine Atmosphäre aus Stickstoff oder trockenem Sauerstoff, um Proben bei hohen Temperaturen schnell zu erhitzen. Das System bietet eine fortschrittliche Prozesssteuerung mit Sensoren in der gesamten Kammer, die kritische Parameter wie Temperatur, Druck und Gasdurchfluss überwachen. AST Helios verfügt über ein offenes Plattformdesign mit einem 4-Zoll-Servotablett mit einem Wafer, das eine gleichmäßige Wärmeübertragung in der gesamten Kammer ermöglicht. STEAG Helios kann thermische Zykluszeiten bis zu zehn Sekunden erreichen und ermöglicht eine schnelle und genaue Verarbeitung mehrerer Proben gleichzeitig. Es verwendet abgeschirmte Innen- und Außenbehälter, um Materialverunreinigungen und Ausgasungen zu verhindern. Der Helmios verwendet auch eine vorgewärmte, nicht-reaktive Quarzkammer für verbesserte thermische Gleichmäßigkeit und Oberflächenhaftung. Dieses Gerät bietet eine präzise Temperaturregelung von Raumtemperatur bis 1050 ° C (1922 ° F) mit bis zu ± 1 ° C (± 1,8 ° F) Genauigkeit. Der Anwender kann bis zu 40 thermische Rezepte programmieren und auf bis zu fünf Echtzeitmodus-Operationen mit eingestellten Punkten und Haltezeiten zugreifen. Die Maschine verfügt auch über eine universelle Controller-Schnittstelle zur Unterstützung der meisten Software-Plattformen der Halbleiterindustrie und verfügt über ein 14-Zoll-Display mit einer grafischen Benutzeroberfläche, die intuitiv und einfach zu bedienen ist. Helios ist mit integrierten Prozessüberwachungs-Feedback-Systemen und Vakuum-Bewertungen bis 4,5 Torr konzipiert. Es hat auch eine außergewöhnlich niedrige Druckanstiegsrate von 0,02 Torr/min, was eine genauere Rezeptentwicklung ermöglicht. MATTSON Helios bietet auch fortschrittliche Sicherheitsfunktionen wie einen Abschalter, der das gesamte Werkzeug im Notfall stoppt. STEAG/MATTSON/AST Helios ist aufgrund seiner Eigenschaften, Flexibilität und schnellen Heizmöglichkeiten eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Es ist in der Lage, komplexe Prozesse zu handhaben, bietet eine präzise Kontrolle über Temperatur und Druck und wird von führenden Halbleitertechnologie-Forschungszentren auf der ganzen Welt zugelassen.