Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #293593160 zu verkaufen
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ID: 293593160
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
Missing parts:
Chamber:
PM1: (10) Board IGBTCB 40A Fuses
PM2: Door mechanics
PM1: MMC
PM2: MMC
PM1: 02 Sensor
PM2: 02 Sensor
PM1: Rotation controller
PM2: Rotation controller
FI: Robot controller, CURR: RR717
PM1: Pyro chiller
PM1: Ring tilt mechanism lift unit
PM2: Ring tilt mechanism lift unit
FI: RD Cable
FI: Sequencer
2008 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein schneller thermischer Prozessor, ideal für Fertigungsprozesse wie Löten, Stempelbonden und Epoxidhärten. Das System ist in der Lage, Leistungs- und Temperaturanpassungen in Sekundenschnelle vorzunehmen, was ihm eine hervorragende Geschwindigkeit, Genauigkeit und Flexibilität für kritische Montageprozesse verleiht. AST Helios ist ein Single-Wafer-Lithographie-Prozessor mit einem Roboterarm, der das zu bearbeitende Substrat in und aus der Kammer bewegt. Die Kammer ist zur Aufrechterhaltung einer sauerstoffarmen Umgebung mit Inertgas, wie Stickstoff, gefüllt. Darüber hinaus überwachen eine Reihe von Bordsensoren die Umgebungstemperatur und den Druck genau und ermöglichen präzise Anpassungen. Um mit der Bearbeitung zu beginnen, wird der Wafer innerhalb der Kammer angeordnet und der Roboterarm dann in die gewünschte Position bewegt. Die überwachten Temperatur- und Druckeinstellungen werden eingestellt und Präzisionswiderstandsheizungen aktiviert. Dieses Verfahren ermöglicht eine gleichmäßige Erwärmung über das Substrat und liefert wiederholbare Ergebnisse. STEAG Helios Prozessor ist ideal für eine Vielzahl von Prozessen, die eine schnelle thermische Verarbeitung erfordern. Beispielsweise wird das Substrat beim Löten typischerweise mehrere Sekunden Temperaturen von bis zu 350 ° C ausgesetzt. Dies kann mit dem Helios-Prozessor erreicht werden, indem das Substrat schnell gekühlt und erhitzt wird, wodurch ein schneller, genauer und wiederholbarer Lötprozess realisiert wird. Das System kann auch zur Aushärtung von Anwendungen wie Düsenbindung und Verkapselung verwendet werden. Eine Reihe von Infrarotstrahlern kann verwendet werden, um eine Epoxidschicht schnell zu erhitzen und zu härten, unter Beibehaltung einer gleichmäßigen Temperatur über das gesamte Substrat. Insgesamt ist MATTSON Helios ein hervorragender thermischer Präzisionsprozessor. Es eignet sich gut für kritische Montageprozesse wie Löten, Düsenverbinden und Epoxidhärten sowie andere kurzzeitige Prozesse wie schnelles thermisches Glühen. Die Bordsensoren, die schnelle thermische Fähigkeit und die Präzisionsheizungen sorgen für eine einheitliche Heiz- und Temperaturregelung im gesamten Substrat und sorgen für wiederholbare, genaue und zuverlässige Ergebnisse, die den Herstellern Sicherheit bei der Produktion in hoher Stückzahl und hoher Präzision bieten.
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