Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9206297 zu verkaufen
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ID: 9206297
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Rapid thermal processor (RTP) system, 12"
(2) Process chambers
(3) FOUP
Carrier ID reader: Hermos RF CID
SECS / GEM
MBC Soak anneal controller
Low temperature option:
Including low temperature MBC
Fast cooling option: FAC / USJF
Low concentration processing kit
Over pressure control
Gasses:
N2, 20 SLM
N2, 150 SCCM
O2, 150 SCCM
O2, 20 SLM
O2, 2 SLM
Ar, 150 SCCM
Ar, 20 SLM
O2, 200 SCCMO APF Faceplate
2005 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der präzise thermische Verarbeitungsfunktionen bietet. Es verwendet ein einzigartiges Design, um den Durchsatz zu maximieren und die Produktivität zu steigern. AST Helios verwendet mehrere Laufzeitsteuerungsfunktionen und bietet eine genaue Temperaturregelung in der Kammer. Diese thermische Genauigkeit wird mit einer Vielzahl von thermostatischen Techniken erreicht, darunter PID (proportional, integral und derivativ), robuste Kerntemperaturregelungssysteme und unabhängige Prozessbereichsüberwachung. Dadurch wird eine präzise Regelung der Temperatur jedes Substrats, das durch die Kammer hindurchgeht, gewährleistet. STEAG Helios bietet auch unglaubliche Geschwindigkeiten, so dass die Temperatur schnell steigen und fallen kann. Dadurch wird der Durchsatz erhöht, da die gesamte Substratpopulation in einem Lauf verarbeitet werden kann. MATTSON Helios kann Temperaturen bis zu 1.300 ° C in weniger als 10 Sekunden erreichen. Neben der schnellen Geschwindigkeit und der genauen Temperaturregelung, die Helios anbietet, hat es ein platzsparendes Design. Es erfordert nur einen kleineren Platzbedarf für seinen Betrieb. STEAG/MATTSON/AST Helios kann einfach installiert und entfernt werden und bietet eine bequeme Option für industrielle und Laboranwendungen. Es ist auch einfach zu programmieren, so dass kundenspezifische Anwendungen verwendet werden können. AST Helios bietet auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine offene Kammerkonstruktion, Druckregelventile, Not-Aus-Taste und Mehrpunktschutzsysteme. Diese Funktionen schützen Personal, Ausrüstung und die Umwelt. Mit seinen schnellen Bearbeitungszeiten, Genauigkeit und Sicherheitsmerkmalen ist STEAG Helios die ideale Wahl für jedes schnelle Wärmeprozessorsystem. Mit seinem vielseitigen Design, schnellen Geschwindigkeiten und fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ist MATTSON Helios sicher, thermische Verarbeitungsanwendungen einfacher und produktiver zu machen.
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