Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9206297 zu verkaufen

ID: 9206297
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Rapid thermal processor (RTP) system, 12" (2) Process chambers (3) FOUP Carrier ID reader: Hermos RF CID SECS / GEM MBC Soak anneal controller Low temperature option: Including low temperature MBC Fast cooling option: FAC / USJF Low concentration processing kit Over pressure control Gasses: N2, 20 SLM N2, 150 SCCM O2, 150 SCCM O2, 20 SLM O2, 2 SLM Ar, 150 SCCM Ar, 20 SLM O2, 200 SCCMO APF Faceplate 2005 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der präzise thermische Verarbeitungsfunktionen bietet. Es verwendet ein einzigartiges Design, um den Durchsatz zu maximieren und die Produktivität zu steigern. AST Helios verwendet mehrere Laufzeitsteuerungsfunktionen und bietet eine genaue Temperaturregelung in der Kammer. Diese thermische Genauigkeit wird mit einer Vielzahl von thermostatischen Techniken erreicht, darunter PID (proportional, integral und derivativ), robuste Kerntemperaturregelungssysteme und unabhängige Prozessbereichsüberwachung. Dadurch wird eine präzise Regelung der Temperatur jedes Substrats, das durch die Kammer hindurchgeht, gewährleistet. STEAG Helios bietet auch unglaubliche Geschwindigkeiten, so dass die Temperatur schnell steigen und fallen kann. Dadurch wird der Durchsatz erhöht, da die gesamte Substratpopulation in einem Lauf verarbeitet werden kann. MATTSON Helios kann Temperaturen bis zu 1.300 ° C in weniger als 10 Sekunden erreichen. Neben der schnellen Geschwindigkeit und der genauen Temperaturregelung, die Helios anbietet, hat es ein platzsparendes Design. Es erfordert nur einen kleineren Platzbedarf für seinen Betrieb. STEAG/MATTSON/AST Helios kann einfach installiert und entfernt werden und bietet eine bequeme Option für industrielle und Laboranwendungen. Es ist auch einfach zu programmieren, so dass kundenspezifische Anwendungen verwendet werden können. AST Helios bietet auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine offene Kammerkonstruktion, Druckregelventile, Not-Aus-Taste und Mehrpunktschutzsysteme. Diese Funktionen schützen Personal, Ausrüstung und die Umwelt. Mit seinen schnellen Bearbeitungszeiten, Genauigkeit und Sicherheitsmerkmalen ist STEAG Helios die ideale Wahl für jedes schnelle Wärmeprozessorsystem. Mit seinem vielseitigen Design, schnellen Geschwindigkeiten und fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ist MATTSON Helios sicher, thermische Verarbeitungsanwendungen einfacher und produktiver zu machen.
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