Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9241199 zu verkaufen
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ID: 9241199
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
2006 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein schneller thermischer Prozessor, der sowohl für die allgemeine Verarbeitung als auch für spezielle Anwendungen verwendet wird. Es hat die Fähigkeit, Materialien in kurzer Zeit schnell auf eine hohe Temperatur zu erhitzen und gleichzeitig ein genaues Temperaturprofil bereitzustellen. AST Helios verwendet verschiedene HF-Generatoren und Schaltanlagen, um präzise Temperaturen mit konstanter oder programmierter Geschwindigkeit schnell zu erwärmen und zu durchlaufen. Das Verfahren wird mit Thermoelementen und optischer Emissionsspektroskopie überwacht, um sicherzustellen, dass die richtige Temperatur erreicht wird. Zur weiteren Erhöhung der Präzision werden wärmeleitende Keramikspiegel verwendet, um die von den HF-Generatoren erzeugte Infrarotstrahlung zu reflektieren. Die präzise Temperaturregelung in Kombination mit hoher Wärmeflussrate ermöglicht es STEAG Helios, Materialien schneller zu verarbeiten als viele andere thermische Verarbeitungsmethoden. Dies führt zu kürzeren Taktzeiten und erhöhtem Durchsatz. Darüber hinaus kann es zur Durchführung von Low-Temperature-Aktivierungsglühen, Diffusionsbindungen und Diffusionsbeschichtungen unter anderem verwendet werden. Der modulare Aufbau von Helios ermöglicht kundenspezifische Konfigurationen, die seinen Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen ermöglichen, einschließlich Halbleiterherstellung, Mikroelektronik-Fertigung und katalytische Oberflächenmodifizierung. Sein Steuerungssystem ist auch sehr anpassbar, so dass Benutzer maßgeschneiderte Verarbeitungsrezepte mit Rezepten für verschiedene Materialien programmieren können. MATTSON Helios ist zudem mit zusätzlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um den sicheren Betrieb des Geräts und seiner Komponenten zu gewährleisten. Dazu gehören Übertemperatur- und Überstromsicherungssysteme, Not-Aus-Tasten und Hochtemperaturschutzsysteme zum Abschalten der HF-Generatoren und Schaltanlagen im Übertemperaturfall. STEAG/MATTSON/AST Helios ist eine ideale Lösung für diejenigen, die eine hohe Präzision und Qualität der Verarbeitung erfordern. Der modulare Aufbau und die Anpassbarkeit machen es für eine Vielzahl von Anwendungen gut geeignet. Darüber hinaus machen seine enge Temperaturregelung und hohe Wärmeflussraten es zu einem der effizientesten schnellen thermischen Prozessoren zur Verfügung.
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