Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9255871 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein schneller thermischer Prozessor (RTP), der eine Hochtemperatur-Heizlösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Das RTP ist in der Lage, die Temperatur eines Substrats von der Umgebung auf eine eingestellte Maximaltemperatur in wenigen Minuten schnell zu verändern. Es arbeitet durch strahlungsbasierte Erwärmung des Substrats in einem Wellenlängenbereich, der optimiert ist, um die gewünschte Temperatur effizient zu erzeugen. Das RTP kann auch zur Glühbehandlung des Substrats verwendet werden, da es in der Lage ist, ein Temperaturprofil über das gesamte Substrat zu erzeugen. Das AST Helios Gerät besteht aus drei Komponenten: einem Mikrowellenleistungsgenerator, einer Mikrowellenantenne und der Reaktionskammer. Der Stromgenerator enthält die zur Umwandlung elektrischer Leistung in Mikrowellen erforderlichen Komponenten, die dann von der Antenne in die Reaktionskammer abgestrahlt werden. Innerhalb der Reaktionskammer befindet sich eine Anordnung von Quarzreflektoren, die die Mikrowellen auf das Substrat fokussieren, was die Energieabsorption durch das Substrat reguliert. Die Quarzreflektoren sind so angeordnet, dass sie eine ungleichmäßige Energieabsorption verringern und ein gleichmäßiges Temperaturprofil über das gesamte Substrat bereitstellen. Zur genauen Temperaturregelung ist das STEAG Helios System mit einem automatisierten Temperaturregler ausgestattet. Dadurch wird automatisch die Leistung des Mikrowellengenerators eingestellt, um die gewünschte Temperatur zu halten. Diese Einheit verwendet auch einen Massenstromregler, um den Strom eines erwärmten Gases zur Kühlung zu steuern. Dies ermöglicht eine schnelle Abkühlung des Substrats, wodurch eine Überhitzung und thermische Beschädigung der Vorrichtung vermieden wird. Helios Maschine ist eine sehr zuverlässige und effiziente schnelle thermische Prozessor. Es ist in der Lage, gleichmäßige Temperaturverteilungen über ganze Substrate bereitzustellen, und ist ideal für das schnelle thermische Glühen von elektronischen Geräten. Darüber hinaus ermöglichen die präzise Temperaturregelung und die effiziente Kühlung der Hersteller, hochwertige Geräte effizient und kostengünstig herzustellen.