Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9256880 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) für die anspruchsvolle thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Es nutzt Kurzpuls-Mikrowelle, rep-rated Laser, oder Plasmaheizung, um schnell und effizient thermische Prozesse wie schnelle thermische Glühung (RTA), Oxidation und Abscheidung für die Geräteherstellung durchführen. Entwickelt für Forschung und Entwicklung sowie Serienproduktion bietet AST Helios RTP eine flexible und zuverlässige Temperaturregelung über einen weiten Temperaturbereich und eine hohe Wiederholbarkeit. Basierend auf der Technologie der flachen Quarzlampen mit hoher Intensität bietet STEAG Helios RTP eine ultraschnelle thermische Verarbeitung mit einer horizontalen Metallhalogenidlampe, die ein intensives Out-of-Band-Lichtspektrum für eine schnellere Verarbeitung liefert. Es verfügt auch über einen variablen Winkelreflektor, um das Licht auf den Wafer zu lenken. Die Einstellung des Reflektorwinkels ermöglicht es Benutzern, das Lampenprofil an die Waferposition und Waferhöhe für maximale Gleichmäßigkeit anzupassen. MATTSON Helios verfügt über eine fortschrittliche thermische Steuerung, um eine präzise Temperaturgleichmäßigkeit über den Wafer zu gewährleisten. Das Thermomanagementsystem umfasst einen Infrarot-Temperatursensor, Temperaturrückkopplungsschleifen und schnell wirkende Temperaturregler. Für intensive thermische Prozesse wie die schnelle thermische Nitridation (RTN) bietet Helios zudem einen Temperaturüberschussschutz, um die Bedienersicherheit zu gewährleisten. Darüber hinaus wird die Prozessleistung durch eine Mehrwellenlängen-Messtechnik weiter optimiert, die mit einem On-Wafer-Instrument kontinuierlich zwei Wellenlängen überwacht. Dies gewährleistet eine präzise Regelung des Temperatursollwertes während des gesamten Prozesses. STEAG/MATTSON/AST Helios verfügt zudem über eine integrierte Gasfördereinheit zur Steuerung der Waferatmosphäre. Es unterstützt eine Vielzahl von Gasen für Oxidations-, Abscheide- und Glühprozesse und kann an die Kundenanforderungen angepasst werden. AST Helios verfügt auch über eine breite Palette von Zubehör, mit dem Kunden ihre Prozesse anpassen können. Zu diesem Zubehör gehören unter anderem Waferdrehung, Armverlängerungen, Abbildungssysteme sowie Temperatur- und Gasüberwachungssysteme. Alle diese Funktionen bieten Kunden beispiellose Flexibilität und überlegene Prozessleistung. Abschließend ist STEAG Helios ein hochentwickelter Schnellwärmeprozessor, der für die Hochdurchsatz- und präzise thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Mit seiner Kombination aus ultraschnellen Heizraten, präziser Temperaturregelung und flexibler Gasfördermaschine ermöglicht MATTSON Helios eine überlegene Prozessleistung für eine Vielzahl von thermischen Prozessen.