Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9270883 zu verkaufen

STEAG / MATTSON / AST Helios
ID: 9270883
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein schneller thermischer Prozessor (RTP), der eine hohe Geschwindigkeit und Präzisionstemperaturregelung bietet. AST Helios verwendet eine Kombination aus Konvektion, Widerstandsheizung und Kühlung über Strahlungskühlung, um Wafer schnell zu erwärmen und zu kühlen. Es verfügt über drei unabhängig steuerbare Kammern, die eine schnellere Temperaturverarbeitung von Proben ermöglichen. Unter Verwendung patentierter Nitrid-Heizelemente mit intelligenter mikroprozessorgesteuerter Logik ist STEAG Helios in der Lage, eine genaue thermische Leistung bei minimalem Überschwingen und Hitze-CAE-Zeit zu erzielen. MATTSON Helios wurde entwickelt, um einheitliche, wiederholbare Temperaturprofile zu liefern, um die hohe Präzision zu erreichen, die für die Herstellung modernster Geräte erforderlich ist. Die Genauigkeit und Gleichmäßigkeit des Temperaturprofils wird durch ein optisch detektierbares Widerstandsmuster in der emittierten Strahlung untermauert. Darüber hinaus ist Helios in der Lage, präzise Temperaturüberschuss Kontrolle. Über eine intuitive Softwareschnittstelle programmierbar, bietet STEAG/MATTSON/AST Helios auch mehrere Wellenformauswahl für Heiz- und Kühlzyklen für unterschiedliche Gerätetypen. AST Helios wurde entwickelt, um schnelle Aufheiz- und Abkühlzeiten zu bieten, um thermische Belastungen auf Waferoberflächen zu minimieren. Darüber hinaus verwendet STEAG Helios einen internen Lüfter, um eine gute Luftzirkulation und Kühlleistung zu gewährleisten. MATTSON Helios verfügt über ein platzsparendes Design und kann leicht auf engem Raum installiert werden, was es zu einer idealen Wahl sowohl für F&E als auch für Produktionsumgebungen macht. Helios' Design macht es auch relativ wartungsarm und ermöglicht einen einfachen Zugang zur Kammer für die Wartung. Insgesamt ist STEAG/MATTSON/AST Helios ein leistungsfähiger und kompakter schneller thermischer Prozessor, der eine zuverlässige, präzise Temperaturregelung in einer Vielzahl von Umgebungen bietet. Ideal für F&E und Produktionseinstellungen garantiert AST Helios genaue Temperaturprofile und verringerte thermische Beanspruchungen von Wafern und ist damit ein wesentliches Werkzeug für die Präzisionsgeräteherstellung.
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