Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9270998 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein Schnellwärmeprozessor (RTP), der zur schnellen Erwärmung und Kühlung von Waferproben in kleinen Chargen in einer einzigen Charge entwickelt wurde. Diese RTP-Ausrüstung besteht aus vier Komponenten: einer Niederdruckkammer, einer Ofenbaugruppe, einem elektrischen Feldmodulator und einem atmosphärischen Druckwechselsystem. Die Niederdruckkammer sorgt für eine abgedichtete Atmosphäre, die temperaturgeregelt und trocken ist. Die Ofenanordnung ermöglicht eine gleichmäßige und schnelle Erwärmung und Kühlung der Waferproben. Es besteht aus mehreren beheizten und gekühlten Heizungen, die durch die Trägerplatten der Probe getrennt werden, um ein Temperaturprofil zu erzeugen. Dies ermöglicht eine präzise Temperaturregelung und Verteilung über die Probe. Der elektrische Feldmodulator wird verwendet, um das elektrische Feld des Wafers über die Probe zu verändern, um das Elektronen-Loch-Dichteverhältnis zu regulieren. Dadurch wird sichergestellt, dass ein gleichmäßiger thermischer Prozess auf die Probe angewendet wird. Schließlich ermöglicht die Atmosphärendruckwechseleinheit eine genaue Regelung des Kammerdrucks, um den Kühl- oder Heizvorgang genau zu steuern. AST Helios ist in der Lage, Temperaturen von 120- 1000 Grad Celsius in weniger als 2 Minuten zu erreichen. Mit seiner SmartMonitor-Software haben Benutzer die Möglichkeit, mehrere Verarbeitungsrezepte und -lasten zu programmieren und den Fortschritt des Prozesses direkt oder aus der Ferne zu überwachen. Darüber hinaus verfügt STEAG Helios über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen zum Schutz der Benutzer und der Proben. Dazu gehören ein Inertgasfüllanschluss, eine Zwangsluftkühlung für die Kammer, Temperaturalarme und eine Rauchmeldermaschine. MATTSON Helios RTP-Tool bietet mehrere Vorteile, wie schnelle Verarbeitung, nahezu gleichmäßige Probentemperatur, erhöhte Sicherheit und präzise Kontrolle. Dieser schnelle thermische Prozessor kann in verschiedenen Branchen wie Halbleiter, Materialforschung, Prozessentwicklung und Geräteherstellung eingesetzt werden.