Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9273943 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein schneller thermischer Prozessor, der eine Vielzahl von Temperaturprozessen wie Glühen, Oxid, Nitrid und Diffusion unterstützt. Dieses branchenführende Werkzeug bietet eine präzise thermische Steuerung, präzise Temperaturgleichmäßigkeit und schnelle Zykluszeiten für thermische Prozesse. Es bietet auch flexible Programmieroptionen mit der Fähigkeit, Rezepte für mehrere Prozessschritte zu speichern und abzurufen, sowie eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine schnelle Konfiguration ermöglicht. AST Helios ist mit mehreren erweiterten Funktionen ausgestattet, die ihm überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Kontrolle geben. Es verwendet ein zweistufiges Heizsystem, in dem die Heizleistungen getrennt gesteuert werden, und es werden eine Vielzahl von Regelalgorithmen eingesetzt, um eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten. Die Heizelemente haben auch eine hohe Toleranz für Temperaturschwankungen und ergeben eine breite Palette von wiederholbaren Profilen. STEAG Helios verfügt zudem über eine integrierte druckgesteuerte Druckkammer, die es ermöglicht, schnell hohe Temperaturen zu erreichen und eine gleichmäßige Temperaturverteilung über Wafer zu gewährleisten. Es verfügt außerdem über Temperatursensoren und eine Druckkammer, die Temperaturen bis zu 1000C standhalten kann. Das System führt schnelle thermische Zyklen mit kürzeren Prozesszeiten und höherer Genauigkeit durch, was zu einer verbesserten Prozessreproduzierbarkeit führt. Es verfügt auch über Echtzeit-Thermographie und Quadranten-Überwachung des Wafers, die es dem Benutzer ermöglicht, den Fortschritt des Prozesses zu beobachten und zu überwachen. Helios verwendet erweiterte Software zur Datenerfassung, Signalerfassung und Steuerung, mit der das System ferngesteuert und überwacht werden kann. Diese Software ermöglicht eine einfache Remote-Änderung des thermischen Zyklus, ohne den Prozess zu unterbrechen. MATTSON Helios ist sicherlich einer der robustesten und zuverlässigsten schnellen thermischen Prozessoren auf dem Markt. Seine überlegene Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit sowie seine schnellen Zykluszeiten und flexiblen Programmiermöglichkeiten machen es zu einer ersten Wahl für thermische Prozesse.