Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9275252 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein fortschrittlicher Schnellwärmeprozessor zur thermischen Glüh- und Waferbearbeitung. Es basiert auf fortschrittlicher Technologie für überlegene Temperatur Gleichmäßigkeit und hohe Rate Glühen von großen und kleinen Funktionen. Der Prozessor bietet eine breite Palette von Glühtemperaturen und schnellen Durchsatz für einzelne Teile und Wafer. AST Helios kommt mit einer 6 „X 6“ heißen Zone und kann Wafer bis zu 300mm Durchmesser erhitzen. Das innovative Design von STEAG Helios ermöglicht ein effizientes Glühen beliebiger Materialien. Die leistungsstarke Direktheiztechnik erzeugt durch präzise Prozesssteuerung eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit. Die fortschrittliche Temperaturkontrollausrüstung stellt sicher, dass die Temperatur der vorgewählten Bereiche genau und konsistent ist, wodurch der Glühprozess effizienter und gleichmäßiger wird. MATTSON Helios bietet auch eine schnelle thermische Verarbeitung mit maximalen Rampenraten von bis zu 1000 ° C pro Sekunde. Dies erhöht die Prozessgeschwindigkeit und Wendezeiten für einzelne thermische Zyklen. Darüber hinaus ist das System auch mit einer Vielzahl von Prozessüberwachungssystemen ausgestattet, wie Echtzeit-Wafer-Überwachung, erweiterte Temperaturprofilierung und Ermüdungstests. Weitere Merkmale sind eine zuverlässige Kühleinheit, eine spezialisierte Software zur Steuerung des Glühprozesses und eine automatische Ausrichtmaschine. Helios verfügt auch über eine integrierte Stickstoff/Helium-Spülleitung, die eine schnellere Vorwärmung ermöglicht und empfindliche Materialien vor Oxidation und Kontamination schützt. Es wird mit einem eingebauten Schutz- und Sicherheitswerkzeug geliefert, um eine Überbearbeitung von Wafern zu verhindern. STEAG/MATTSON/AST Helios ist auch bei regelmäßigem Einsatz einfach zu bedienen und wartbar. Flexible Benutzerfreundlichkeit und hohe Anlageverfügbarkeit sind einige der weiteren Vorteile von AST Helios. All diese Eigenschaften machen STEAG Helios zur perfekten Wahl für jede thermische Verarbeitungsanwendung.