Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9281781 zu verkaufen

ID: 9281781
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2004 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein fortschrittlicher Rapid Thermal Processor (RTP) für Produktions- und Forschungsanwendungen. Es ist in der Lage, Proben in kurzer Zeit bis zu einer Temperatur von etwas über 850 ° C mit Millisekunden Genauigkeit und Präzision zu erhitzen. Das Gerät ist mit einer vollautomatischen Steuerung ausgestattet, die wiederholbare Ergebnisse mit hoher Gleichmäßigkeit ermöglicht. AST Helios RTP kommt mit einem fortschrittlichen Zwei-Zonen-Heizung-Design, so dass jede Zone unabhängig laufen. Dadurch kann eine höhere Gleichmäßigkeit und Genauigkeit im Heizprozess erreicht werden. Jedes der beiden Rohre enthält eine robuste Graphit-Isoliermatrix und einen Wolfram-Filament, so dass verbesserte thermische Eigenschaften. Für mehr Zuverlässigkeit ist das System mit einer ausgeklügelten Rückkopplungsschleife und Steuereinheit ausgestattet, die ein sehr schnelles Ansprechen und eine präzise Temperaturregelung ermöglicht. STEAG Helios RTP verfügt auch über eine fortschrittliche thermische Oxidationsmaschine, die einen hohen Durchsatz und eine niedrige Temperaturoxidation von Materialien ermöglicht. Dieses Werkzeug ist speziell für Anwendungen konzipiert, die Hochgeschwindigkeitsoxidationsprozesse erfordern, wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es eignet sich auch gut für andere Verfahren, die eine präzise thermische Kontrolle erfordern, einschließlich schnelles Kristallwachstum und Dünnschichtabscheidung. Helios RTP beinhaltet eine fortschrittliche multispektrale Bildgebung, die eine genaue Überwachung und Kontrolle der Probentemperatur und des Oxidationszustands ermöglicht. Dieses Modell kann mit anderen Software- und Hardwaresystemen kombiniert werden, so dass der Benutzer den thermischen Prozess auf seine spezifische Anwendung optimieren kann. MATTSON Helios RTP ist für Reinraumanwendungen konzipiert und bietet eine sehr sichere Umgebung für laufende Prozesse. Dazu gehört ein hohes Maß an Umweltkontrolle sowie ein robuster Schutz vor schädlichen elektromatischen und elektrostatischen Emissionen. Dies ermöglicht auch eine verbesserte Steuerung des thermischen Prozesses sowie eine erhöhte Anlagenlebensdauer. Insgesamt ist STEAG/MATTSON/AST Helios ein fortschrittlicher und zuverlässiger thermischer Prozessor. Es bietet ein hohes Maß an Leistung und Genauigkeit und eignet sich gut für eine Vielzahl von High-Tech-thermischen Prozessanwendungen.
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