Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Helios #9281783 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Helios ist ein Schnellwärmeprozessor (RTP) zur Herstellung integrierter Schaltungen. AST Helios wird verwendet, um die Temperaturen auf Wafern oder Substraten während des Herstellungsprozesses der integrierten Schaltung schnell anzuheben oder zu senken. Dieses Verfahren ist als thermische Verarbeitung bekannt. STEAG Helios verfügt über eine Mikron-Präzisionsscheitelausrichtung, die es ermöglicht, schnell die erforderliche Temperatur für jedes Substrat zu erreichen und präzise Ergebnisse zu erzielen. Dies ist wichtig für die Herstellung integrierter Schaltungen, da dadurch sichergestellt wird, dass jede Plattform auf dem Substrat die gleiche Solltemperatur erreicht, was für eine effiziente und genaue Geräteherstellung wesentlich ist. Helios nutzt eine Kombination aus direkter Gasheizung und Plasmabehandlung, um Temperaturziele zu erreichen. Das direkte Gasheizsystem ermöglicht MATTSON Helios, über 10.000 Watt Wärmeenergie auf den Wafer zu übertragen, so dass er schnell den eingestellten Temperaturpunkt erreichen kann. Die Plasmabearbeitung ermöglicht STEAG/MATTSON/AST Helios gleichmäßige Temperaturen im gesamten Wafer, was bei der Herstellung und Verknüpfung integrierter Schaltungen wichtig ist. Es gibt 3 Hauptsegmente für AST Helios: die Temperaturregeleinheit, die Heizkammer und die Gasfördereinheit. Die Temperatursteuereinheit überwacht und hält Temperaturniveaus, die einen Temperaturbereich von 200 ° C bis 1000 ° C mit einer Genauigkeit von ± 5,5 ° C bereitstellen. Die Gasfördermaschine dient zur Bereitstellung von Spezialgas für die Kammer, wie Stickstoff, Helium und Argon. STEAG Helios verfügt auch über eine Sekundärheizung Werkzeug bekannt als beheizte Decke. Dabei wird heißes Gas verwendet, das durch die Prozesskammer hindurch zirkuliert und von äußeren Einflüssen isoliert. Gleichzeitig trägt die beheizte Decke auch dazu bei, die Beanspruchung und Belastung, die die Prozesskammer bei schnellen Temperaturwechseln erfährt, zu reduzieren. Helios bietet Herstellern integrierter Schaltungen ein hochpräzises, effizientes thermisches Verarbeitungsmodell, das Defekte reduziert und die Prozesszeit verbessert. Dies hat zu einer hohen Kundenzufriedenheit geführt und ist somit ein wichtiger Bestandteil jeder Produktionsstätte für integrierte Schaltungen.