Gebraucht STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #293639177 zu verkaufen

ID: 293639177
Wafergröße: 6"
Rapid Thermal Processor (RTP), 6" 1995-1996 vintage.
STEAG/MATTSON/AST SHS 2000 Schnellwärmeprozessor ist ein hochpräzises Gerät zur Durchführung der thermischen Verarbeitung auf einer Vielzahl von Materialien. Der Prozessor besteht aus einer Vielzahl von Komponenten, die alle in komplexer, fein abgestimmter Weise zusammenarbeiten, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Der Prozessor verfügt über einen einzigen Autoloader, der die Be- und Entladung des Substrats vereinfacht. Diese Funktion ist in der Lage, bis zu 12 Quarzscheiben mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll aufzunehmen. Die Wafer sind drehbar angeordnet, was ein schnelles und effizientes Be- und Entladen ermöglicht. Der Prozessor weist ferner eine zweizonige mehrzonige Kammer zur Durchführung der thermischen Verarbeitung auf. Die Zweizonenkammer ist für eine gleichmäßige Temperatur und gleichmäßige Erwärmung und Kühlung ausgelegt, wodurch unerwünschte Schwankungen vermieden werden. Die Mehrzonenkammer bietet die Möglichkeit, unterschiedliche Temperaturen auf verschiedene Teile des Substrats aufzubringen, was eine stärkere Kontrolle der Ergebnisse ermöglicht. Der Prozessor verwendet auch eine HF-abgestimmte Lampe oder LED-Lampe, um die notwendige Wärmequelle für die zu verarbeitenden Substrate bereitzustellen. Die Lampe wird mit einem verstellbaren Gleichstromnetzteil versorgt, das speziell auf die Bedürfnisse der Anwendung zugeschnitten werden kann. Der Prozessor ist auch in der Lage, die genaue Temperatur des Substrats und die genauen Parameter des thermischen Prozesses über ein Temperaturregelsystem zu überwachen. Zur Bereitstellung dieser Funktionalität wird ein Temperaturindikator und ein Datenlogger verwendet, mit denen Benutzer exakte Daten anzeigen können. Schließlich verfügt der Prozessor über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um den Benutzer, das Substrat und die Maschine selbst zu schützen. Dies beinhaltet einen Übertemperaturschutz, der die Temperatur des Substrats überwacht und kontrolliert, um sicherzustellen, dass es die gewünschte Temperaturgrenze nicht überschreitet. Es gibt auch einen Not-Aus-Knopf, der eine sofortige Abschaltung der Maschine im Notfall ermöglicht. Zusätzlich zu diesen Funktionen verwendet der Prozessor auch proprietäre Software und eine intuitive Benutzeroberfläche, um eine effiziente und genaue Bedienung zu ermöglichen. All diese Kombinationen schaffen einen hocheffizienten und zuverlässigen schnellen thermischen Prozessor, der konsistente und qualitativ hochwertige Ergebnisse erzielt.
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