Gebraucht STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #293813733 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800 ist ein industrieller Schnellwärmeprozessor (RTP), der in einer Vielzahl von mikroelektronischen Anwendungen verwendet wird, einschließlich Forschung und Entwicklung, Produktion und Test/Reparatur. Die AST SHS 2800 ist so konzipiert, dass sie eine präzise, wiederholbare thermische Steuerung bei einer Vielzahl von Temperaturen ermöglicht, um hochwertige, leistungsstarke Mikrogeräte herzustellen. STEAG SHS-2800 ist in der Lage, eine schnelle thermische Glühung (RTA), eine schnelle thermische Dotierungsaktivierung (RTDA), eine schnelle thermische Oxidation (RTO), eine schnelle thermische Diffusion (RTD), eine schnelle thermische Nitridation (RTN), eine schnelle thermische Nitridation (RTNO) und EINE. Es ist mit einem integrierten Substrattemperaturüberwachungssystem und einer Mehrzonentemperaturregelung ausgestattet. Es ist in der Lage, Temperaturbereiche von -75 bis + 650 ° C mit einer maximalen Rampenrate von 15 ° C/s. STEAG/MATTSON/AST SHS-2800 bietet mehrere Optionen für Waferträger, mit benutzerdefinierter Kontaktkraft für gleichmäßigen thermischen Kontakt. Diese Träger können für eine Vielzahl von Substraten bis 200 mm Durchmesser verwendet werden. MATTSON SHS-2800 ist auch mit einer 200W Quarzhalogenlampe zur Probenheizung ausgestattet. Das System ist auch mit mehreren Optionen für die Gasförderung ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Gasförderung mit benutzerdefinierten Mustern für eine präzise Prozesssteuerung ermöglichen. STEAG SHS 2800 beinhaltet ein Gasmischermodul bei gleichzeitiger Abgabe von bis zu 5 Gasen pro Modul und vollständig benutzerdefinierten Gasgemischen. SHS 2800 enthält auch eine optionale grafische Benutzeroberfläche (GUI), die eine genaue Überwachung und Kontrolle aller Prozessparameter ermöglicht. Es liefert Echtzeit-Grafiken der Prozessparameter, einschließlich Temperatur- und Gaszusammensetzungsprofile. Es bietet auch ein automatisiertes Wafer-Laden/Entladen-System mit automatischer Abschaltung am Ende des Prozesses. SHS-2800 ermöglicht eine präzise Echtzeitsteuerung aller Prozessparameter und die Datenerfassung von thermischen und Gasergebnissen. Es ist für einfache Bedienung und Wartung konzipiert und in einem Reinraumrahmen der Klasse 100 für höchste Sicherheit und Zuverlässigkeit untergebracht. Insgesamt ist AST SHS-2800 eine ideale Wahl für jede mikroelektronische Anwendung, die eine präzise thermische Kontrolle und Gleichmäßigkeit erfordert. Die benutzerdefinierten Prozessparameter und der große Temperaturbereich ermöglichen die Herstellung von hochwertigen, leistungsstarken Mikrogeräten.