Gebraucht STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E / 2800 CS #9179203 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E/2800 CS ist ein Multi-Zone Rapid Thermal Processor (RTP). Dieses Gerät wurde entwickelt, um energiereiches Infrarot-Plasma zu nutzen, um Wafer schnell zu erhitzen, zu kühlen, zu glühen und anderweitig zu verarbeiten. Es ist eine hochgenaue und zuverlässige Ausrüstung für Produktionsumgebungen gebaut. Seine Ionen-Implantat kompatible Ausrüstung kann schnell auch die komplexesten Strukturen mit Präzision und Genauigkeit verarbeiten. Das Mehrzonendesign des Prozessors umfasst drei unabhängige Heiz-, Oberflächenkühl- und Kühlzonen. Jede einzelne Zone ist mit Festkörperrelais ausgestattet, die eine hohe Geschwindigkeit und gleichmäßige Temperaturzyklen ermöglichen. In Verbindung mit der schnellen Verarbeitungsgeschwindigkeit des Prozessorreglers sorgen diese Funktionen für eine effiziente Ausführung der thermischen Prozessabfolge. Das axiale Duschkopfsystem des AST SHS 2800E/2800 CS ist ein Hauptmerkmal des Prozessors. Es verwertet eine Hochleistungskonvektionseinheit der erzwungenen Luft, um hoch einheitliche Thermalprofile sowohl auf kleinen als auch auf großen Oblaten zu erreichen. Die Zwangsluftkonvektionsmaschine wird auch mit einem transparenten Quarzschild kombiniert, um den rückseitigen Ladungsaufbau auf dem Wafer während der Verarbeitung zu minimieren. STEAG SHS 2800E/2800 CS kommt auch mit einer Vielzahl von eingebauten Sicherheitsfunktionen, einschließlich automatische Abschaltung und kontinuierliche, Low-Level, Echtzeit-Überwachung der Prozessumgebung. Diese Merkmale sorgen dafür, dass der Prozessor sicher und innerhalb der festgelegten Sicherheitsrichtlinien arbeitet. Neben seinen thermischen Verarbeitungsmöglichkeiten ist SHS 2800E/2800 CS auch mit einer Vielzahl von additiven Verarbeitungsnotwendigkeiten kompatibel, einschließlich Gaslieferung, Laserdicing und mehr. Dieser Prozessor kann für eine Vielzahl von Prozessen verwendet werden, einschließlich PEDOT: PSS, Pufferschichten für Verbundhalbleiterprodukte und vieles mehr. MATTSON SHS 2800E/2800 CS ist ein leistungsstarkes, mehrzoniges RTP, das zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse, hohe Effizienz, kostengünstigen Betrieb und Hochgeschwindigkeits-Thermozyklus bietet. Dieses vielseitige Gerät ist für eine Vielzahl von Anwendungen gut geeignet und kann eine Vielzahl von Waferkonfigurationen schnell und effizient verarbeiten.