Gebraucht STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092863 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor ist eine thermische Verarbeitungsanlage für eine breite Palette von industriellen und Forschungsanwendungen. Es eignet sich für die Verarbeitung von Wafern bis zu 6 Zoll Durchmesser mit maximaler Dicke von 0,2 mm. Es enthält eine einzige Kammer, die durch ein Paar Öfen beheizt wird, die Temperaturen von bis zu 1100 ° C liefern können. Diese Öfen befinden sich oberhalb und unterhalb der Kammer, um eine gleichmäßige Erwärmung über das gesamte Substrat zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das System über eine präzise Temperaturregelung mit hoher thermischer Gleichmäßigkeit, hoher Rampenfrequenz, einem breiten Spektrum an Prozessgasen und einem breiten Verarbeitungsdruckbereich (50 mbar C). Es verfügt auch über eine integrierte Gasmanagementeinheit mit vier Gasleitungen, die neun verschiedene Gase transportieren können. Das Gerät ist automatisiert und kann mit mehreren Rezepten programmiert werden, um die Effizienz zu maximieren. Die Maschine ist mit einem automatisierten Lukenladewerkzeug und einem Wafered Handling für bis zu 30 Wafer pro Prozesslauf ausgestattet. Es verfügt auch über einen Prozessmonitor für die Doppelansicht der Probenoberfläche. Darüber hinaus verfügt das Modell über erweiterte Sicherheitsfunktionen, um Personal, die Einheit und Substrate vor möglichen Schäden während des Betriebs zu schützen. Dazu gehören die automatische Überwachung aller Sicherheitskomponenten, Übertemperaturalarm, Stickstoffeinlass- und Auslassdetektoren sowie ein leistungsstarker Vakuumregler. Das thermische Verarbeitungssystem kommuniziert mit der Endbenutzersoftware über das PROCO Plus Interface, eine verteilte Steuereinheit. Dies ermöglicht es einem Benutzer, den Echtzeitprozess über die integrierte grafische Benutzeroberfläche des 2800E zu überwachen und Programme zum Ausführen von Wafered-Prozessen von einem entfernten Standort aus einzurichten. AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor ist eine fortschrittliche Maschine für die Hochtemperaturverarbeitung und die Herstellung auf Waferebene. Es bietet eine gleichmäßige und konsistente Erwärmung des Substrats mit ausgezeichneter Temperaturregelung sowie zuverlässige Sicherheitsmerkmale zum Schutz von Personal, Einheit und Substraten. Es eignet sich für viele Industrie- und Forschungsanwendungen und kann mit Rezepten für automatisierte Läufe programmiert werden.