Gebraucht STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #293815994 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF Rapid Thermal Processor (RTP) ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug, das eine präzise Temperaturregelung für eine Reihe von elektrischen, photonischen und optoelektronischen Geräten ermöglicht. AST SHS-2800SF besteht aus einer einzigen elektronischen Steuerung mit zwei unabhängigen, hochgeschwindigen, temperaturgeregelten Stufen. Die Primärstufe ermöglicht eine gleichmäßige schnelle Erwärmung und Kühlung mit einer Genauigkeit von bis zu 10 ° C und einer Reaktionszeit von 3-10 Sekunden. Diese Stufe dient zur Unterstützung von Prozessen wie Schnellglühen (RTA), Diffusion, Oxidation und Silizidierung. Die Sekundärstufe sorgt für eine schnelle Abkühlung mit einer Ansprechzeit von 4-15 Sekunden und einer Kühlrate von bis zu 1000 ° C/Sekunde. Diese temperaturgesteuerte Stufe soll Prozesse wie schnelles thermisches Nitrid und schnelle thermische Oxidation unterstützen. STEAG SHS-2800SF umfasst eine fortschrittliche Temperaturregelung auf Thermoelementbasis und bietet präzise Temperaturmessungen, die in Echtzeit überwacht werden können. Dieses System unterstützt auch Einzelschuss- und kontinuierliche Prozesszyklen, die wiederholbare und konsistente Prozesse ermöglichen. Der Regler ist in einem hermetisch abgedichteten stickstoffgespülten Schrank eingeschlossen, der eine zusätzliche Temperaturstabilität und Kontrolle bietet. Eine luftgekühlte Luftschleuse bietet eine zusätzliche Schutzschicht, die die Übertragung von Substraten zum und vom RTP unter Beibehaltung der Kammeratmosphäre ermöglicht. MATTSON SHS-2800SF bietet eine leistungsstarke und vielseitige Lösung für präzise Temperaturregelungsprozesse. Es hat die Fähigkeit, die Temperatur bei gleichmäßiger Heizung und Kühlung genau zu steuern, und sein fortschrittliches Temperaturregelsystem liefert wiederholbare und konsistente Prozesse. Dieses leistungsstarke Instrument ist ein wertvolles Werkzeug für die Prozessentwicklung und Produktion einer Vielzahl von elektrischen, photonischen und optoelektronischen Geräten.