Gebraucht STEAG / MATTSON / AST SHS #9119657 zu verkaufen

ID: 9119657
Rapid Thermal Processor (RTP) No computer / Internal cards Power: 400 V, 43 kW.
STEAG/MATTSON/AST SHS ist ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der entwickelt wurde, um eine bequeme und präzise Temperaturregelung, eine genaue Temperaturüberwachung und eine zuverlässige thermische Kontrolle in der Halbleiterherstellung bereitzustellen. Dieses Produkt reduziert die Prozesszeit, verbessert den Ertrag und senkt die Energiekosten im Vergleich zu herkömmlichen thermischen Prozessen. Dieser schnelle thermische Prozessor wird für die Hochgeschwindigkeitsfunktionen der Plattenheizung und -kühlung, der Düsenaushärtung und der Diodenlaserschaltungsentwicklung verwendet. Der thermische Prozessor unterstützt eine der vier Standardtemperaturen in der Halbleiterherstellung, die von -30 ° C bis 250 ° C reichen. Es verfügt über eine Standardzykluszeit von einer Sekunde und eine Temperaturauflösung von 0,01 ° C. Dieses Produkt bietet eine präzise Temperaturregelung und kann für viele Prozessbedingungen, einschließlich der schnellen Kühlung, einfach konfiguriert werden. Das Produkt verfügt über eine hervorragende dynamische Prozesssteuerung und eine proprietäre PWM-Technik (Pulse Width Modulation), um Temperaturüberschreitungen zu reduzieren und thermische Gradienten zu minimieren und optimale Produktparameter zu gewährleisten. Der Prozessor verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, darunter ein Sicherheitsverriegelungssystem, um sicherzustellen, dass der Prozess innerhalb des angegebenen sicheren Temperaturbereichs läuft, und ein Thermoelement zur kontinuierlichen Überwachung der Kühlkörpertemperaturen. Dies beinhaltet auch eine automatisierte ausfallsichere Funktion, um den thermischen Zyklus bei Übertemperatur/unter Spannungsbedingungen zu stoppen. Das Produkt besteht aus robusten Materialien und langlebiger Konstruktion, um der rauen Fertigungsumgebung standzuhalten. Kühle Temperatur Luft wird über zwei Umluftlüfter umgewälzt, um das Produkt abzukühlen und ein sicheres Temperaturniveau zu erhalten. Sein Embedded-Computer bietet Betriebssteuerung, Aufzeichnung, Anzeige und Analyse kritischer Prozessparameter zur weiteren Optimierung, während Alarme, Benachrichtigungen und Warnungen für die Betriebsüberwachung und Systemwartung verfügbar sind. Das Produkt enthält auch Software für die Erzeugung von gemeinsamen Profilen von thermischen Zyklusparametern, die Erstellung von benutzerdefinierten Heiz- und Kühlroutinen und die Überwachung des Bildes des thermischen Profils des Panels. Dies ermöglicht den effizienten Betrieb des thermischen Prozesses, wodurch die Qualität der Produkte verbessert wird. Zusätzlich wird dieses Produkt mit direkter Logik-I/O für zusätzliche Installationsflexibilität geliefert und kann nahtlos mit anderen Maschinen der Datenübertragungsleitung verbunden werden. Mit seinen vielseitigen Eigenschaften und der modernsten thermischen Prozesssteuerung ist AST SHS der perfekte thermische Prozessor für die Herstellung und Produktion von Halbleitern.
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