Gebraucht STEAG / MATTSON / AST SHS #9192433 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST SHS ist ein robuster, leistungsfähiger Rapid Thermal Processor (RTP) für den Einsatz in der Halbleiterbauelementproduktion. Es ist in der Lage, schnell zu heizen und zu kühlen Substrate, vor allem für die Verarbeitung von Batch-Wafern und die Produktion von kleinen Geräten verwendet. AST SHS-Prozessor ist ein Drei-Kammer, Atmosphärendruck RTP, die vierfach beheizte Zone (QHZ) Rapid Thermal Annealing (RTA) Technologie verwendet. Jede Kammer ist mit vier unabhängig voneinander gesteuerten Heizzonen zur präzisen Temperaturregelung ausgestattet. Die Temperatur in jeder Zone kann unabhängig voneinander auf +/- 0,01 ° C des gewünschten Sollwertes eingestellt werden, was eine präzise Temperaturregelung im gesamten Substrat ermöglicht. STEAG SHS nutzt auch Hochgeschwindigkeits-Gaspfadstrom, um eine effiziente thermische Leistung und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Die Durchflussmenge kann sowohl im Heiz- als auch im Kühlbereich eingestellt werden. Das Gesamtdesign von MATTSON SHS besteht aus mehreren Stufen. Dazu gehören eine Kammer, Vorwärmer, Zonenheizer, Kühlbehälter, Gasauslaß und zwei beheizte Zonenquellen. Die Kammer ist so konzipiert, dass sie einen kontrollierten thermischen Zyklus von Substratscheiben ermöglicht und von einem Infrarotabsorber umgeben ist, um die Wärmeeffizienz zu maximieren. Der Vorwärmer dient zur schnellen Erwärmung von Substraten vor der Verarbeitung im Zone Heater. Der Zone Heater ist ein Vier-Zonen-System, das angepasst werden kann, um eine breite Palette von Temperaturen, von -150 bis + 100 Grad Celsius. Der Kühlbehälter hilft bei der gleichmäßigen Kühlung von Substraten und der Gasauslaß sorgt für einen schnellen Gasstrom zur gleichmäßigen Kühlung. Die beiden beheizten Zonenquellen sorgen für eine präzise Temperaturregelung innerhalb der Kammer. SHS ist in der Lage, in Los- oder Produktionsabläufen zu arbeiten, und ist mit Software ausgestattet, um die Programmierung beliebiger Systemparameter zu vereinfachen. Die Benutzeroberfläche von STEAG/MATTSON/AST SHS ist einfach und benutzerfreundlich und bietet eine Vielzahl grafischer Darstellungen für einfaches visuelles Feedback. Es können auch manuelle und automatische Modi verwendet werden, die einen optimierten Betrieb des Prozesses ermöglichen. Darüber hinaus verfügt AST SHS auch über ein integriertes Sicherheitssystem, um den vollständigen Schutz von Personal und Substraten während der Verarbeitung zu gewährleisten. STEAG SHS ist eine ideale Option für die Herstellung unterschiedlichster integrierter Schaltungen, von Kleinbauelementen bis hin zu digitalen Großhalbleitern. Durch seine einzigartige Kombination aus Technologie und benutzerfreundlicher Oberfläche bietet es eine effiziente und zuverlässige thermische Verarbeitung.