Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR #9227411 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR ist ein schneller thermischer Prozessor, der für den Einsatz in der Halbleiterherstellungsindustrie entwickelt wurde. Es ist ein fortschrittlicher Hochtemperatur-Schnelltemperaturannealer (RTA), der eine präzise und schnelle thermische Kontrolle von Wafern ermöglicht. Das Gerät verfügt über ein modernes optisches System, das Blitzlampenbeleuchtung für ultraschnelles Heizen verwendet, eine elektromagnetisch angetriebene Quarzoszillatorplanke und zwei lineare Rückkopplungsaktuatoren für maximale thermische Steuerung. TEL Alpha-8S-ZAR verwendet mehrere ultraschnelle gepulste Blitzlampen, um eine schnelle und gleichmäßige Temperaturrampenrate zu erzeugen und eine präzise Wafertemperaturkontrolle während des Glühens zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine einzigartige Datenerfassungs- und Steuerungsfähigkeit, die durch seine' FluxEye' -Funktion ermöglicht wird, die Wafertemperaturmessungen misst und speichert und eine bessere Verarbeitungssteuerung ermöglicht. TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR bietet auch einen hohen Verarbeitungstemperaturbereich von bis zu 1.400 ° C in Ultra-Niederdruckumgebungen. Dies sorgt für eine erhöhte Prozess- und Filmgleichförmigkeit, eine überlegene thermische Kontrolle und eine hohe Wiederholbarkeit über Langzeitprozesse. Alpha-8S-ZAR verfügt über eine breite Palette fortschrittlicher Sicherheitsmerkmale, einschließlich einer Wasserstoffsicherheitsoption, die ein Notevakuierungsverfahren einleitet, wenn der Wasserstoffgehalt gefährliche Werte in der Kammer erreicht. Die Maschine ist auch mit einer vollautomatischen OFF-LINE-Funktionen, einschließlich einer Inertgas-Durchfluss-Kalibrierung Werkzeug, unabhängige Heizstrom und Spannungsmessungen für die weitere Prozesssteuerung, und eine automatische Temperaturkompensation Algorithmus, der hilft, Prozessüberläufe und thermische Schäden an den Wafern zu verhindern. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR über einen erweiterten FM/AM-Oszillator mit integrierter Fernbedienung. Diese Fernsteuerungsfunktion ermöglicht es Benutzern, die Parameter des Assets von einem entfernten Standort aus zu überwachen und sicherzustellen, dass die Prozesssteuerung jederzeit aufrechterhalten wird. TEL Alpha-8S-ZAR wurde entwickelt, um die Anforderungen von Halbleiterherstellungsumgebungen zu erfüllen und bietet Anwendern eine überlegene Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit über langfristige Glühprozesse. Seine erweiterten Sicherheitsfunktionen, sein breites Leistungsspektrum und seine Fernbedienungsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für die anspruchsvollen Halbleiterherstellungsindustrien.