Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9227375 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) mit zuverlässiger hoher Leistung für die Verarbeitung thermischer Prozesse für Halbleiterscheiben. Es verwendet erzwungene Konvektionsheizung und Kühlung mit Mehrzonenfähigkeit, um eine präzise Temperatur- und Gleichmäßigkeitskontrolle zu erhalten. TEL 5BAO-200 wurde entwickelt, um große und schwere Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll mit präziser Temperaturregelung für Wärmebehandlungsanwendungen wie Glühen, Rekristallisieren und Diffusion zu verarbeiten. Es bietet eine warme und kalte Waferbearbeitungsfähigkeit mit Mehrfach-/Zweizonenauswahl zur präzisen Regelung der Oberflächentemperatur jedes Wafers. WAFERMASTERS 5BAO-200 verfügt über eine schnelle Heizfähigkeit mit einer Reaktionszeit von nur 5 Millisekunden auf Temperaturen bis zu 1400˚C. Durch diese schnelle Erwärmung können Prozesse wie Diffusion, Oxidation und Nitridierung in einem Bruchteil der Zeit abgeschlossen werden, die herkömmliche Methoden erfordern. TOKYO ELECTRON 5BAO-200 bietet zudem eine schnelle Kühlmöglichkeit mit einer Abkühlzeit von nur 12 Sekunden von 1200˚C bis Raumtemperatur. Das System verfügt über einen erweiterten Controller mit einer Mehrfachzonenauswahl von 4x4, der eine genaue Temperaturregelung über die gesamte Waferoberfläche ermöglicht. Dies ermöglicht eine präzise Temperaturanpassung zur Optimierung thermischer Prozesse und eine präzise Temperaturanpassung über mehrere Materialschichten hinweg. Mit diesen Eigenschaften können Wafer genauer und gleichmäßiger behandelt werden. Neben der fortschrittlichen Temperaturregelung verfügt 5BAO-200 auch über eine digitale Gasflussregelung mit einem Turbo-Ventil, um wiederholbare Ablagerungen ohne Änderungen bereitzustellen. Diese Gasströmungsregelung erhöht die Prozesswiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 enthält auch einen quarzverkapselten automatischen Waferübertragungsmechanismus. Dies ermöglicht ein effizientes Be- und Entladen, wodurch die Exposition der bearbeiteten Wafer gegenüber der Umgebung reduziert wird. Dies trägt dazu bei, die Oxidation oder Fremdstoffverunreinigung der Wafer zu minimieren. TEL 5BAO-200 ist ein zuverlässiger und hochwirksamer Rapid Thermal Processor, der den höchsten Industriestandards entspricht. Es bietet die neueste fortschrittliche Wärmeverarbeitungstechnologie mit präziser Temperaturregelung, schnellen Heiz- und Kühlzeiten und fortschrittlicher digitaler Gasflussregelung. Mit seiner hochwertigen Technik und robusten Konstruktion ist WAFERMASTERS 5BAO-200 ideal für Anwendungen wie Diffusion, Oxidation und Nitridation.