Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9375003 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200
ID: 9375003
Rapid thermal annealing system.
TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 Rapid Thermal Processor (RTP) ist ein hochmodernes Gerät zur schnellen und präzisen Bearbeitung von Wafern in einer Vielzahl von Anwendungen wie chemische Dampfabscheidung (CVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD D), sputtering, Oxidation und Andere idation. TEL 5BAO-200 hat die Fähigkeit, Wafer von Temperaturen so niedrig wie Raumtemperatur bis zu Temperaturen bis zu 900 ° C in nur 30 Sekunden schnell zu verarbeiten. Darüber hinaus verfügt dieses RTP auch über eine Selbstdiagnose- und Kontrollausrüstung, um hervorragende Ergebnisse für jeden Prozess zu gewährleisten. WAFERMASTERS 5BAO-200 nutzt eine pneumatisch gesteuerte Kammerheizung, um mehrere Wafer effizient und schnell zu erwärmen. Dieses RTP ist mit fortschrittlicher Simulationstechnologie und modernster 3D-Modellierung gebaut, um eine beheizte Kammer zu schaffen, die bis zu 200 Wafer mit einem Durchmesser von 4 bis 6 Zoll aufnimmt. 5BAO-200 ist mit einer drei unabhängigen Massenfluss-Proportionalregelung mit integrierter PID-Steuerung ausgestattet, die die Einstellung von Timing und Temperaturen mit hoher Präzision ermöglicht. Darüber hinaus wurde TOKYO ELECTRON 5BAO-200 mit ausgezeichneter Leistung und Komfort im Auge entworfen und verfügt über mehrere Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer Not-Aus-Funktion und mehreren Backup-Heizsystemen. Es ist aus überlegenen Materialien und Komponenten, die entwickelt wurden, um hohe Leistung Dosen zu behandeln, so dass ein langlebiges und robustes Produkt. Darüber hinaus enthält TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 eine einzigartige, berührungslose Wafer-Ladeeinheit, die die Zykluszeit schnell reduziert und den Durchsatz erhöht. Neben den hervorragenden Funktionen bietet TEL 5BAO-200 eine intuitive Bedienoberfläche sowie Fernbedienung für routinemäßige Wartung und Verwaltung der Maschine. Schließlich ist es energieeffizient und verbraucht weniger Strom als ähnliche Systeme, reduziert Kosten und fördert Nachhaltigkeit. Insgesamt ist WAFERMASTERS 5BAO-200 Schnellwärmeprozessor ein erstklassiges Gerät mit innovativen Funktionen, die es zu einer überlegenen Wahl in der Branche machen. Es bietet effektiv und effizient eine schnelle und präzise thermische Verarbeitung von Wafern und ist perfekt für zahlreiche Anwendungen wie CVD, PVD, Sputtern, Oxidation, Glühen und Reinigen.
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