Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9144808 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP ist ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der für die Waferbearbeitung in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es verfügt über eine patentierte kontinuierliche Rapid Thermal Processing (RTP) -Technologie, die es ermöglicht, hochpräzise thermische Verarbeitungsleistung über eine große Palette von Materialien und Substraten zu liefern. TEL SRTF200-LP ist ein Einspulenträgersystem mit einem Temperaturbereich von -25 ° C bis 1600 ° C, das für eine Vielzahl von Prozessparametern geeignet ist. Es verfügt über ein einzigartiges Design für den Austausch von Wafern während des thermischen Prozesses und schnelle Temperaturrampen von bis zu 15 ° C/sec, wodurch es eine schnelle thermische Prozesslösung wie keine andere gibt. Es ist auch mit WaferVisionTM ausgestattet, einem fortschrittlichen Vision-System, das eine präzise Wafer-Ausrichtung während der Wafer-Übertragung und der Vision-Überwachung während dynamischer Prozessschritte ermöglicht. WAFERMASTERS SRTF200-LP verfügt auch über eine Vielzahl von optionalen Modulen, die hinzugefügt werden können, um das System an die spezifischen Prozessanforderungen eines Kunden anzupassen. Dazu gehören ein Reaktormodul für die Verarbeitung von DEP, PECVD, CVD, ALD und anderen Schichtmaterialien; ein Suszeptorheizgerät zum Anheben von Wafern auf Temperaturen über 1200 ° C; ein Quarzgestell zum Aufnehmen von Wafern von dem Vakuum-Ladearm in der Kammer; und ein eingebettetes Laserinterferometer zur präzisen Waferbelastung und Positionierung. TOKYO ELECTRON SRTF200-LP ermöglicht dank seiner Flexibilität und hochpräzisen thermischen Prozesssteuerung eine perfekte Prozessausrichtung und -wiederholbarkeit bei gleichzeitig leicht integrierter Lösung in hochautomatisierte Systeme. Es ist eine ideale Lösung für Hightech-Industrien, die eine präzise, effiziente und zuverlässige thermische Verarbeitung benötigen.