Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9210339 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP ist ein schneller thermischer Prozessor (RTP), der den Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. Es bietet hohe Prozesswiederholbarkeit und überlegene Prozesssteuerungsfunktionen und ist damit eine effektive Lösung für Kunden in einer Vielzahl von Produktionsumgebungen. TEL SRTF200-LP ist ein LED-Lampe-Typ RTP mit direkt angetriebenen, Hochleistungs-LED-Lampen ausgestattet. Die LED-Lampen bieten einen breiten Wellenlängenbereich und eine hohe Gleichmäßigkeit, was eine schnellere thermische Verarbeitung von Wafern auch bei niedrigeren Temperaturen ermöglicht. Die hervorragenden optischen Eigenschaften der Lampe ermöglichen auch eine enge Kontrolle der Bearbeitungszeit und sorgen für höchste Präzision. Um die Temperaturgleichmäßigkeit zu optimieren und schnelle Heiz- und Abkühlzeiten zu erreichen, ist WAFERMASTERS SRTF200-LP mit einer auf Peltier-Elementen basierenden Kühleinrichtung ausgestattet. Dieses Kühlsystem trägt dazu bei, die Gleichmäßigkeit des Temperaturprofils über den Wafer zu maximieren, was zu einheitlichen und wiederholbaren Ergebnissen führt. SRTF200-LP kommt auch mit einer SIEC-ON Touchscreen-Schnittstelle, die eine einfache Einrichtung und Bedienung der Einheit ermöglicht. TOKYO ELECTRON SRTF200-LP ist mit einer eingebauten Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Maschine ausgestattet, die die Abscheidung verschiedener Materialien auf der Waferoberfläche ermöglicht. Dieses Tool bietet mehr Gleichmäßigkeit und höhere Abscheideraten als Standard-CVD-Prozesse. Darüber hinaus bietet die Anlage Compact Helix Infrared Source (CHIRS) höhere Abscheidungstemperaturen als Standard-Schmallinie-Infrarotquellen. TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP enthält auch ein in situ Wafermessmodell, das eine präzise Charakterisierung der Prozessstabilität ermöglicht. Dieses Messgerät verfügt über eine Vielzahl von analytischen Funktionen, einschließlich optischer Spektroskopie, Röntgenzeilenanalyse und Rasterelektronenmikroskopie. Neben diesen Funktionen bietet TEL SRTF200-LP auch Optionen zur Maschinensteuerung, einschließlich Prozessstatusüberwachung und Datenerfassung. Dieses RTP kommt auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, die einen sicheren Betrieb gewährleisten. Um maximale Leistung zu erhalten, verfügt WAFERMASTERS SRTF200-LP über ein integriertes Prozessüberwachungssystem, das das Temperaturprofil basierend auf Auswirkungen aus Produktlebensdauer und Prozesszeit automatisch anpasst. Insgesamt ist SRTF200-LP ein ausgezeichneter schneller thermischer Prozessor, der zuverlässige Leistung und ausgezeichnete Prozesskontrolle bietet. Die effizienten LED-Lampen, die überlegene Temperaturgleichmäßigkeit, die einfache Einrichtung der Einheit und die eingebauten PECVD- und CHIRS-Systeme machen es zur perfekten Wahl für Kunden in einer Vielzahl von Produktionsumgebungen.