Gebraucht ULVAC / RIKO MILA-5000 #9357190 zu verkaufen
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ULVAC/RIKO MILA-5000 ist ein Rapid Thermal Processor (RTP). Es ist ein einzigartiges Werkzeug zur schnellen thermischen Behandlung von Substraten wie Halbleiterscheiben, Brennstoffzellen, Photovoltaik und Displays. RIKO MILA-5000 ist in der Lage, eine Hochtemperaturverarbeitung mit einer Vielzahl von Temperaturen und Heizraten zu erreichen. Es ist in der Lage, einen präzisen Temperaturbereich und eine gleichmäßige Erwärmung über ungleichmäßig geformte Substrate mit einer hohen Geschwindigkeit sowie mit kürzeren Laufzeiten und kleineren Fußabdrücken im Vergleich zu anderen Systemen aufrechtzuerhalten. ULVAC- MILA-5000 können unter Verwendung einer Inertgasatmosphäre Temperaturen bis 1000 ° C in der Luft oder viel höher erreichen. MILA-5000 ist mit einer leistungsstarken, effizienten Heizeinrichtung ausgestattet, die ultrakompakte Induktionsheizspulen mit hoher Leistung verwendet, die in der Lage sind, eine Temperaturgleichmäßigkeit über Substrate im Bereich von +/-2 ° C zu bieten. Mit diesem System können höhere Temperaturen schneller erreicht werden als herkömmliche Systeme, ohne dass zusätzliche Heizelemente erforderlich sind. Das Gerät ist auch mit einer einzigartigen Steuerungsmaschine zur präzisen Steuerung von Temperaturprofilen ausgestattet - diese Steuerungssysteme ermöglichen kundenspezifische Temperaturprofile basierend auf den Gleichmäßigkeitsanforderungen des zu bearbeitenden Substrats. ULVAC/RIKO MILA-5000 ist ein komplettes Werkzeug mit einem geringen Platzbedarf, mit einem Minimum an Komponenten außerhalb des Hauptgehäuses und geringem Stromverbrauch. Es ist für schnelles Radfahren konzipiert, mit Temperaturen von 1000 ° C in wenigen Millisekunden. Seine Konstruktion bietet eine ausgezeichnete Temperaturstabilität für die Langzeitverarbeitung mit einer Temperaturgleichmäßigkeit von +/-2 ° C. Es ist auch in der Lage, große Substrate - bis 300mm - mit einem Druck von bis zu 0.4Mpa für höhere Temperaturen oder Inertgasatmosphärenbehandlung zu behandeln. Darüber hinaus kann diese Ressource sehr hochwertige Folien liefern und wird durch umfassende Rückverfolgbarkeit, Datenprotokollierung und Sicherheitsfunktionen unterstützt, um einen konsistenten und zuverlässigen Prozess zu gewährleisten. RIKO MILA-5000 ist in der Lage, verschiedene Substratmaterialien wie Siliziumscheiben, Gläser und Spezialmaterialien wie Metalle und Keramik zu behandeln. Sein Steuermodell kann verschiedene Parameter der Verarbeitung wie Temperatur, Druck und Gasdurchfluss überwachen. Es bietet auch eine breite Palette von anpassbaren Parametern, wie Temperaturrampenrate, Druck, zyklische Rate und Atmosphäre Auswahl. Das Gerät ist auch mit einer individuellen Schnittstelle ausgestattet, die eine präzise und benutzerfreundliche Steuerung der Parameter ermöglicht. Dies macht es eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen wie Oxidation, Glühen, Diffusionen, etcetera. Darüber hinaus wird ULVAC MILA-5000 durch ein umfassendes technisches Support-System unterstützt, einschließlich Wartungs- und Kalibrierservices, um sicherzustellen, dass das Gerät weiterhin mit Höchstleistung arbeitet.
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