Gebraucht UNITEMP RTP-1000-150 #293642647 zu verkaufen

UNITEMP RTP-1000-150
ID: 293642647
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
UNITEMP RTP-1000-150 ist ein schneller thermischer Prozessor (RTP), der eine zuverlässige, wiederholbare und genaue thermische Verarbeitung von Wafern ermöglicht. RTP-1000-150 ist eine Einwafer-Prozesskammer, die eine schnelle und präzise Temperaturregelung während der Halbleiterherstellung ermöglicht. UNITEMP RTP-1000-150 ist in der Lage, bis zu einem 4-Zoll-Durchmesser-Wafer zu verarbeiten und arbeitet mit 0,1 ° C Temperaturgenauigkeit. Prozessrezepte werden über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche erstellt und auf der internen Festplatte gespeichert. Das Gerät verfügt über Acht-Punkt-Rampen-Scan-Technologie, die eine enge Prozesskontrolle und wiederholbare Ergebnisse auf jedem Wafer ermöglicht. Die Kammer wird intern auf eine maximale Temperatur von 1250 ° C erhitzt und ist stickstoff-, argon- und heliumverträglich. RTP-1000-150 wird für die Sicherheit entworfen, das Zeigen einer Infrarotsicherheit schachtelt Mechanismus und Rückschlagventile ineinander, um Eindämmung im Falle eines Notfalls zu sichern. Das System verfügt auch über ein Leckbrechventil, um den Einheitendruck zu regulieren und Leckagen aus der Kammer zu vermeiden. UNITEMP RTP-1000-150 überwacht kontinuierlich den Kammerdruck und die Temperatur und kann so eingestellt werden, dass Abweichungen von vordefinierten Grenzwerten gemeldet werden. RTP-1000-150 wurde entwickelt, um die Benutzerfreundlichkeit zu fördern, mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und einer integrierten Kühlmaschine, um eine schnelle Abklingzeit für jeden Wafer zu gewährleisten. Das Werkzeug ist auf Zuverlässigkeit ausgelegt, mit Edelstahlbauteilen und einer monolithischen Quarzkammer. Das dicht verschlossene Edelstahl-Heizelement sorgt für einen gleichmäßigen und gründlichen thermischen Prozess. UNITEMP RTP-1000-150 kommt mit einer breiten Palette von Zubehör und Optionen entworfen, um maximale Flexibilität und Komfort zu garantieren. Dazu gehören ein automatisches Wafer-Transportgut, ein Barcode-Lesegerät sowie Optionen zum Export von Verarbeitungsrezepten in externe Controller. Das Modell ist auch mit einem optionalen Abgasregler kompatibel, der ein schnelles Nachfüllen und Evakuieren der Kammer während der Verarbeitung ermöglicht. RTP-1000-150 ist ein fortschrittlicher Schnellwärmeprozessor, der hochpräzise, wiederholbare Verarbeitungsergebnisse liefert. Mit einem Temperaturbereich von bis zu 1250 ° C und 0,1 ° C Temperaturgenauigkeit bietet UNITEMP RTP-1000-150 flexible und optimale Halbleiterproduktionsmöglichkeiten.
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