Gebraucht AGS MPS-150-RIE #9078689 zu verkaufen

AGS MPS-150-RIE ist eine hochwertige Forschungs- und Industrieelektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasmaätzanlage, die auf die Anforderungen der heutigen Forschung und industriellen Anwendungen zugeschnitten ist. Dieses Modell eignet sich besonders für Dünnschichtätz- und Abscheideprozesse, die eine hohe Qualität und Genauigkeit wie Halbleiterverarbeitung, MEMS und PDTs erfordern. MPS-150-RIE hat verschiedene Eigenschaften, die es für moderne Forschung und industrielle Anwendungen geeignet machen. Das Plasma wird mit einer Hochtemperatur-ECR-Quelle erzeugt, die ein sehr effizientes und sehr präzises Werkzeug zur Steuerung von Prozessen unter präzisen Leistungsbedingungen ist. Darüber hinaus kann die ECR-Quelle in einer Vielzahl von Verschlussmodi wie Puls- und Burst-Modus betrieben werden, was eine präzise Steuerung von Ätzprozessen und eine präzise Steuerung der Abscheidungsdicken ermöglicht. Die ECR-Quelle hat auch die Möglichkeit, die benötigten Ionen für eine Vielzahl von Prozessparametern an die Oberfläche zu liefern, was eine gleichmäßige Verteilung über die Substratoberfläche ermöglicht. Das Flusssteuersystem nutzt 12 unabhängige Gaskanäle und ist mit einem hochautomatisierten Gasmixer ausgestattet, der die Steuerung der Gaskonzentration in der Prozesskammer erleichtert. Darüber hinaus ist das Gerät mit Temperatur- und Druckmeßsystemen ausgestattet, um optimale Betriebsbedingungen zu gewährleisten. Neben seiner hochpräzisen ECR-Quelle ist AGS MPS-150-RIE auch mit einer Vielzahl von Peripheriegeräten ausgestattet, um seine Fähigkeiten weiter zu verbessern. Diese Peripherieausrüstung umfasst anspruchsvolle Prozessüberwachungswerkzeuge, fortgeschrittene Plasmaeigenschaften-Messwerkzeuge und eine Reihe von Vakuum-Handhabungsgeräten wie Lastschlösser und Robotik. Die Maschine ist mit einer sehr robusten und zuverlässigen konstruktiven Konstruktion konstruiert und in der Lage, eine breite Palette von Prozessparametern zu handhaben. Das Plasmabeschränkungswerkzeug sorgt dafür, dass das Plasma gleichmäßig über die Kammer verteilt ist, um ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten. Das Ätzgut ist außerdem mit einem automatischen Endpunktdetektionsmodell ausgestattet, mit dem das Gerät den Prozess an einer vorbestimmten Stelle stoppen kann, wodurch wiederholbare Ätzergebnisse gewährleistet sind. MPS-150-RIE ist ein ideales Gerät für Forschung und industrielle Anwendungen aufgrund seiner hochpräzisen ECR-Quelle, seiner zuverlässigen und robusten Konstruktion und seines breiten Spektrums an peripheren Geräten. Dieses Modell bietet die Funktionen und die Leistung, die es Anwendern ermöglichen, einheitliche und wiederholbare Prozesse mit außergewöhnlicher Produktivität und Genauigkeit zu generieren.