Gebraucht AIXTRON 2000 HT #9408163 zu verkaufen
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ID: 9408163
Weinlese: 1997
MOCVD System
Nitride (GaN)
Planetary reactor
Gas foil rotation
Throughput: 7"x2"
EBARA Dry pump
PC Controller
Source configuration:
TMG
TMA
Cp2MG
TEG
TMI
TMSb
1997 vintage.
AIXTRON 2000 HT ist ein fortschrittlicher Hochtemperatur-CVD-Reaktor für die Abscheidung verschiedener Materialien. Es verfügt über eine erweiterte Mehrzonen-Vakuumkammer, die Temperaturen bis zu 1000 Grad Celsius erreichen kann. 2000 HT ist vielseitig einsetzbar und kann für eine Vielzahl von CVD-Prozessen eingesetzt werden, einschließlich blanker Scheibenabscheidung, konformer Beschichtungen und vieles mehr. Es hat auch unabhängige Zonensteuerung und Temperaturregelung für jede Zone. AIXTRON 2000 HT wird von einer leistungsstarken Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Plasmaquelle angetrieben. Diese leistungsstarke Quelle bietet eine gute Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit und gibt der Kammer extrem schnelle Startzeiten. Die Kammer ist auch in der Lage, Wasserstoffgas zu verwenden, um das Plasma zu erzeugen, was für Anwendungen wie Siliciumcarbid-Abscheidung und andere elektronische Anwendungen wichtig ist. 2000 HT ist auch mit einer Vielzahl von E-Strahlquellen ausgestattet, die für die Materialabscheidung und -rückgewinnung verwendet werden können. AIXTRON 2000 HT verfügt außerdem über einen hydraulischen Lader zum sicheren und effizienten Be- und Entladen des Wafers. Dies ist besonders nützlich für Anwendungen, die eine große Anzahl von Wafern benötigen oder häufig Wafer wechseln müssen. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich Hoch- und Niederdruckverriegelungen und Drucküberwachung, um versehentliche Drucküberlastungen in der Kammer zu vermeiden. 2000 HT hat auch eine breite Palette von Zubehör und Software-Unterstützung zur Verfügung. Diese Optionen erweitern die Möglichkeiten des Systems und erleichtern die Nutzung des Reaktors in verschiedenen Anwendungen und Prozessen. Mit dieser Software können Anwender den Systembetrieb, einschließlich Plasmaquelle und Kammerdruck, sowie die Temperatur jeder Zone einfach überwachen und steuern. Insgesamt ist AIXTRON 2000 HT eine leistungsstarke, vielseitige und zuverlässige CVD-Einheit, die sich perfekt für eine breite Palette von CVD-Prozessen eignet. Es ist eine einfache Maschine zu bedienen und zu warten und seine breite Palette an verfügbarer Software und Optionen machen es noch benutzerfreundlicher und fähig.
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