Gebraucht AIXTRON 2000 #9222202 zu verkaufen

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AIXTRON 2000
Verkauft
Hersteller
AIXTRON
Modell
2000
ID: 9222202
MOCVD System.
AIXTRON 2000 ist ein Mehrkammer-, Rechteck-, Niederdruck-Metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) Reaktor für Dünnschicht-Abscheidungsanwendungen entwickelt. Dieser Reaktor ermöglicht es Forschern und Ingenieuren, Verbindungshalbleiterschichten präzise auf verschiedenen Substraten abzuscheiden. 2000 hat drei einzelne Kammern; eine Wirtskammer, eine Abgaskammer und eine Inertgaskammer. Die Wirtskammer enthält das Substratmaterial und ermöglicht den Abbau und die Zerstäubung des ankommenden Vorläufermaterials auf das Substrat. Die Abgaskammer dient zur Abgabe der Reaktionsprodukte aus der Prozesskammer, während die Inertgaskammer Verunreinigungen aus der Umgebung verhindert. AIXTRON 2000 verwendet vertikal montierte Hydridlampen, um die Energie für den chemischen Dampfabscheidungsprozess bereitzustellen. Die Lampen liefern Ultraviolett (UV) -Energie im Bereich von 250-400 nm, die das eingehende Vorläufermaterial zerlegt und die chemische Reaktion ermöglicht, die für die Dünnschichtabscheidung benötigt wird. Die Präzisionsprozessregelung der Reaktoren wird mit einem einstellbaren Temperaturbereich von 350-420 ° C erreicht. Die Durchflussmenge der Prozessgase wird mit einer Drucksteuerung von 1-105 mbar und einer einstellbaren Gasventilsteuerung genau geregelt. Die integrierten Sicherheitsfunktionen von 2000 bieten Schutz vor Prozessverstärkungen, Überdruck und Überhitzung. Die Vielseitigkeit von AIXTRON 2000 ist der Schlüssel zum Erfolg auf diesem Gebiet. Beispielsweise ist 2000 wirksam beim Abscheiden, Ätzen und Reinigen einer Vielzahl von Verbindungshalbleiterschichten. Es eignet sich auch zur Abscheidung von Dioden, Dünnschichttransistoren, LEDs, Schottky-Barrieren und anderen Verbundhalbleiterbauelementen. AIXTRON 2000 bietet eine umweltfreundliche Option mit minimaler Abfallproduktion, geringer Emission von flüchtigen Stoffen und ohne Gefahrstoffe außer dem Vorläufergas. Die robuste Bauweise und der geringe Wartungsaufwand erlauben es 2000, über längere Zeit zuverlässig zu arbeiten. Abschließend ist AIXTRON 2000 ein einzigartiger MOCVD-Reaktor, der Robustheit und präzise Prozesskontrolle kombiniert, um Wissenschaftlern und Ingenieuren die Möglichkeit zu geben, eine breite Palette von Dünnschichtschichten genau und zuverlässig abzuscheiden. Die vielseitigen Betriebsparameter, die Umweltfreundlichkeit und die geringe Wartung machen es zu einer idealen Wahl für die industrielle Halbleiterabscheidung.
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