Gebraucht AIXTRON 2400 G3 #293700069 zu verkaufen
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ID: 293700069
Weinlese: 2001
MOCVD System
MKS 651C Reactor pressure PC Controller
EBARA A25S Dry pump
(9) MO Baths
Gases: N2, H2, PH3, AsH3, SiH4
Source MO:
(2) TMIn
(3) TMGa
(2) TMAl
(2) DeZn
Gas lines:
N2 Source line
H2 Line
(2) Lines for AsH3
(2) Lines for PH3
(2) Lines for SiH4
N2 Line for compensation of the hydride line
N2 Line for MO compensation
Materials based on GaAs and InP: InAs, GaInAs, GaInAsP, GaInP, AlGaAs, AlGaInP, GaAsP, GaInAsP + P or N doping with Zn or Si
(2) Screens
Keyboard
Mouse
Manuals included
Operating system: Windows 2000 Professional
2001 vintage.
AIXTRON 2400 G3 ist ein Hochleistungs-Epitaxiereaktor, der für die fortschrittliche Materialforschung und die Herstellung hochwertiger Verbundhalbleiter entwickelt wurde. AIXTRON 2400G3 ist ein hochleistungsfähiger, großvolumiger, autokorrektionssymmetrischer Reaktor und ermöglicht die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien, darunter III-V-Verbindungen, II-VI-Verbindungen und Graphen. 2400 G3 bietet eine einzigartige Kombination von Funktionen für die Erforschung und Entwicklung der nächsten Generation von Verbundhalbleitermaterialien für den Einsatz in Hochleistungselektronik, Optoelektronik, Quantencomputing und Solaranwendungen. 2400G3 Reaktor verfügt über eine 6-Zoll (15 cm) feste Quarzduschkopf-Suszeptor-Plattform mit einer Auswahl von bis zu sechs Elementen. Die Zellen im Brausekopf-Suszeptor sind thermisch mit einem gleichen einfallenden Flußprofil ausgeglichen, was eine gleichmäßige Abscheidung auf großflächigen Substraten ermöglicht. Darüber hinaus gewährleistet die symmetrische Bauweise eine gleichmäßige Dotierung und ermöglicht optimierte Materialabscheideraten. Die intuitive Software ermöglicht es Anwendern, voreingestellte Prozessparameter bis auf 0,1 nm Präzision einfach anzupassen. Der AIXTRON 2400 G3 Reaktor verfügt zudem über einen leistungsstarken Multi-ZoneTM Controller, der es ermöglicht, bis zu fünf unabhängige Prozesszonen für eine ungleiche Prozesssteuerung einzustellen. Mit der Fähigkeit, verschiedene Gasströme, Temperaturen, Druck und Strom in jeder Zone einzustellen, ermöglicht AIXTRON 2400G3 Reaktor eine präzise Steuerung aller Prozessparameter und ermöglicht so die komplexesten Prozessströme. 2400 G3 ist mit einer Reihe von erweiterten Funktionen für mehr Benutzerfreundlichkeit entworfen. Dazu gehören ein automatisierter Materiallader für einfacheres Substrathandling, eingebaute Sicherheitsmaßnahmen zum Schutz von Zellen, Vakuumsystemen und Substraten, ein multifunktionales Stromaggregat, Fernzugriff für effiziente Systemüberwachung und -bedienung, automatische Steuerung von Werkzeugparametern sowie End-of-Run und Prozess-Reporting. 2400G3 Reaktor ist in der Lage, hochreines, fehlerfreies Material für eine Vielzahl von Anwendungen herzustellen. Der Reaktor AIXTRON 2400 G3 ist eine ideale Wahl für diejenigen, die einen zuverlässigen Hochleistungsreaktor für die Forschung fortschrittlicher Verbindungen und die Herstellung hochwertiger Halbleitermaterialien suchen.
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