Gebraucht AIXTRON 2400G3 HT #9238884 zu verkaufen

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AIXTRON 2400G3 HT
Verkauft
Hersteller
AIXTRON
Modell
2400G3 HT
ID: 9238884
Weinlese: 2007
MOCVD System 2007 vintage.
AIXTRON 2400G3 HT ist ein 6 "horizontales, plasmaverbessertes PECVD-Werkzeug (Chemical Vapor Deposition), das für die Herstellung von Hochtemperatur-Dünnschichtbauelementen in Halbleiterqualität ausgelegt ist. Es ist ein hocheffizientes und vielseitiges Hochtemperatur-System mit einer ausgezeichneten Erfolgsbilanz bei der Herstellung von dielektrischen, metallischen, magnetischen und organischen Schichten. Mit seiner einzigartigen Kombination aus hohem Durchsatz, Low-Cooper-Overhead und überlegener Präzision ist AIXTRON 2400 G3-HT ideal für die Produktion von MEMS, Dünnschicht-Solarzelle und OLEDs in hohen Stückzahlen. 2400 G3 HT ist mit drei fortschrittlichen Plasmageneratoren ausgestattet, die eine überlegene, wiederholbare und reproduzierbare Prozesssteuerung ermöglichen. Dieser Reaktor bietet bis zu 6 "Semi-Standard- und HPF-Rezepte, eine zusätzliche Backoption und den patentierten AIXOX-PREPEAK Plasmapilot. Die High-Temperature-Fähigkeit mit einem Wafer von bis zu 1000 ° C bietet eine breite Palette an verfügbaren Abscheidematerialien. Die einzigartige Soft-Start- und Soft-Pause-Technologie des Reaktors garantiert Homogenität und Compliance über den gesamten Wafer und beseitigt mögliche partikelfreie Probleme. 2400 G3-HT bietet darüber hinaus eine Vielzahl automatisierter Verfahren wie Foliendicke, Folienwiderstands- und Reflexionsmessungen sowie zusätzliche Werkzeuge zur Optimierung und Steuerung des Hochtemperaturabscheidungsprozesses. Erweiterte Diagnosetools, einschließlich spektraler Emissionsanalysen, helfen bei der Ermittlung von Abscheidungsparametern, wie der Gleichmäßigkeit der Dicke und der Wiederholbarkeit der Prozesse, um Ergebnisse zu optimieren. Darüber hinaus ermöglicht 2400G3 HT die Anwendung von High Temperature Prozessen (THPTs) mit hohem Durchsatz, wie Einzelwaferbearbeitung, Roll-to-Roll und Band-to-Band-Verarbeitung sowie Batch- und Gummituchverarbeitung. Dies hat sich als äußerst nützlich zur Erhöhung des Durchsatzes erwiesen. Insgesamt ist AIXTRON 2400 G3 HT ein ideales System zur Herstellung von Hochtemperatur-Halbleiterdünnschichten. Mit seiner Kombination aus überlegener Prozesssteuerung, hoher Effizienz und breitem Leistungsspektrum hilft es Branchenexperten, Time-to-Market zu optimieren und Kosten zu senken.
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