Gebraucht AIXTRON 2400G3 HT #9254484 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
2400G3 HT
ID: 9254484
Weinlese: 2006
MOCVD System Epitune: 11" x 2" 2006 vintage.
AIXTRON 2400G3 HT ist ein Hochtemperatur-3-Zonen-induktiv gekoppelter Plasmareaktor. Es ist für fortgeschrittene Abscheidungsprozesse wie das Wachstum von Oxid-, III-V-Verbindung und metallischen Dünnschichten konzipiert. Dieser Reaktor weist eine einzigartige Dreizonenanordnung auf, die ihn ideal für Hochtemperaturprozesse geeignet macht. Die drei Zonen bestehen aus: der Quellkammer, dem Tiegel und der Plasmakammer. Die Quellkammer ist der erste Verfahrensschritt, bei dem erwärmte Rohstoffe in Quarztiegel eingelegt und dann in die Vakuumkammer eingeleitet werden. Beim Erzeugen des Vakuums werden dann in der Kammer wegen Luftmangels extrem hohe Temperaturen erreicht. Die Temperatur in der Quellkammer kann bis zu 1800 ° C erreichen. Zweitens die Tiegelstufe, die sich direkt unterhalb der Quellkammer befindet. Dabei wird das Material induktiv erwärmt und geschmolzen. Diese Schmelze wird dann in der Plasmakammer weiter erhitzt. Hier kann die Temperatur je nach verwendetem Material zwischen 750 ° C und 2000 ° C liegen. Die Plasmakammer ist die dritte und letzte Stufe des Prozesses. Darin entsteht das Plasma über die Einleitung eines Gases aus einer externen Quelle. Die Kammer enthält auch eine Induktorspule, mit der dann die Temperatur des Plasmas weiter erhöht wird. Es ermöglicht auch, das Substratmaterial aufzuheizen und vorzureinigen, um sicherzustellen, dass es bereit ist, das abgeschiedene Material aufzunehmen. AIXTRON 2400 G3-HT Reaktor bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber anderen Reaktoren. Sie ist hocheffizient, da sie höhere Temperaturen erreichen kann als andere Reaktoren, was wiederum die Abscheiderate erhöht. Es ist auch präzise, da es in der Lage ist, Materialien von sehr geringen Dicken mit hoher Genauigkeit und Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Außerdem ist sie kostengünstig, da sie schneller ist als andere Reaktoren, was Materialkosten und Arbeitskosten senkt. Insgesamt ist 2400 G3 HT ein vielseitiger und zuverlässiger Reaktor mit einem umfangreichen Angebot an Werkzeugen und Fähigkeiten. Es ist eine perfekte Lösung für eine Vielzahl von Abscheideprozessen, da es in der Lage ist, extrem hohe Temperaturen mit einer schnelleren Geschwindigkeit als herkömmliche Reaktoren zu erreichen, und ist präzise genug, um dünne Materialfilme mit hoher Genauigkeit und Gleichmäßigkeit abzuscheiden.
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