Gebraucht AIXTRON 2400G3 HT #9254485 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
2400G3 HT
ID: 9254485
Weinlese: 2007
MOCVD System Epitune: 11" x 2" 2007 vintage.
AIXTRON 2400G3 ist HT ein vertikaler „Hoch-Temperaturwirbel CVD erhöhter“ Reaktor hat gepflegt, eine breite Reihe von Substraten für die Anzeige und elektronischen Gerätanwendungen anzustreichen. Diese Ausrüstung verwendet eine revolutionäre Hochtemperaturabscheidetechnik mit einem Heißwandliner und einer EK-Gasquelle. AIXTRON 2400 G3-HT verfügt über ein einziges Deckeldesign, das einen einfachen Zugang zum System durch eine seitliche Scharniertür ermöglicht. Die Hauptkomponenten sind ein Quarzreaktantinjektor, Reaktionskammer, Substratheizabschnitt und ein Gasabgas. Der Injektor fördert Einsatzgase in die Reaktionskammer, wo die Prozesstemperatur von -10 ° C bis 1250 ° C variiert werden kann. Nachdem die gasförmigen Reaktionspartner zu einer gewünschten Abscheidungsverbindung reagieren, werden sie durch einen temperaturgeregelten Heizabschnitt zum Substrat transportiert. Der Heizabschnitt ermöglicht eine gleichmäßige Wärmeverteilung. Zur Abwasserbewirtschaftung und Emissionskontrolle ist der Abgasanschluss mit einem chemischen Geruchswäscher ausgestattet. 2400 G3 HT ist auf Skalierbarkeit und Flexibilität ausgelegt und ermöglicht die Prozessentwicklung einer Vielzahl von Anwendungen. Die Technologie des Geräts ermöglicht auch einen skalierbaren und niedrigen Temperaturabscheidungsprozess, der die Herstellung von dünnen Filmen und die großflächige Abscheidung mit gepulster und kontinuierlicher Gaszufuhr ermöglicht. 2400 G3-HT ist auch mit Top-Sicherheits- und Gesundheitsmaßnahmen ausgestattet, einschließlich einer Sicherheitsgasabschaltung, Explosionsabschaltung und einer maschinellen Virenfiltrationsmaschine. Das Werkzeug ist mit Stickstoff, Argon, Sauerstoff und anderen umweltfreundlichen Gasen kompatibel, was es für eine Vielzahl von Abscheidungen gut geeignet macht. 2400G3 HT ist eine hervorragende Lösung für diejenigen, die nach einer Hochtemperaturabscheidungslösung suchen. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und dem effizienten Gasverbrauch liefert die Anlage die zuverlässigen und wiederholbaren Ergebnisse, die für eine erfolgreiche Prozessentwicklung und -abscheidung erforderlich sind.
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