Gebraucht AIXTRON 2400G3 HT #9270060 zu verkaufen

AIXTRON 2400G3 HT ist ein von der AIXTRON AG verkaufter, hochmoderner Close Coupled Showerhead (CCS) -Reaktor. Es wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz von Dünnschichtabscheidungsprozessen bereitzustellen und ein hervorragendes Wachstum von einkristallinen Filmen von III-V-Halbleitern zu ermöglichen. Dieser PECVD-Reaktor eignet sich für materialwissenschaftliche Anwendungen wie kristallines Silizium auf Isolator (SOI) und mikro-elektromechanische Systeme (MEMS). Sie ist modular aufgebaut mit mehreren Prozesskammern, wie einer CCS-Kammer, zwei Plasmakammern, einer Pufferkammer und zwei Prozessrohren. Die in der Mitte des Clusterwerkzeugs angeordnete CCS-Kammer weist ein 6-Pass-Multipol-CCS auf, wo das Prozessgas in die Mitte der Kammer gelangt und dann zu den Randwänden zirkuliert, wo es zerstäubt wird. Diese Duschkopfkonstruktion ermöglicht gleichmäßige Bauteilverteilungen und ausgezeichnete Gashomogenität, was eine hohe Reproduzierbarkeit der Abscheiderate ermöglicht. Am Ende des Abscheidungsprozesses ermöglicht die schnelle Temperaturwechselausrüstung eine schnelle Abkühlzeit, um eine genaue Schichtsteuerung zu ermöglichen. In den beiden benachbarten Plasmakammern wird die Leistung entweder mit einer Mikrowelle (MW) oder einer der anderen verfügbaren Plasmaleistungsquellen erzeugt. Hohe Temperatur und Druck ermöglichen die großflächige Herstellung hochwertiger Dünnschichten. Die beiden an den beiden Plasmakammern angebrachten Prozessrohre dienen zum Substratbe- und entladen sowie zur Gasverteilung in jede Abscheidekammer. AIXTRON 2400 G3-HT bietet auch eine Pufferkammer zwischen dem CCS und den beiden Plasmakammern installiert. Diese Kammer dient als Puffer für den Abscheideprozess zur Stabilisierung der Systemzustände und verhindert Abscheidungsgeschwindigkeitsschwankungen. Zusätzlich kann die Pufferkammer als Glüh-/Kühlkammer zur weiteren Homogenisierung von Temperatur und Druck verwendet werden. Des Weiteren wird 2400 G3 HT mit einer hochmodernen AIXTRON Prozesssteuerungssoftware, Software S zur Datenerfassung und Überwachung des Abscheideprozesses geliefert. Die grafische Benutzeroberfläche des Geräts ermöglicht es Benutzern, alle Parameter in Echtzeit einzurichten, wodurch die Maschine benutzerfreundlich und effizient ist.