Gebraucht AIXTRON 2400G3 HT #9395960 zu verkaufen

AIXTRON 2400G3 HT ist ein hocheffizienter, großflächiger chemischer CVD-Reaktor. Der Reaktor eignet sich zur Abscheidung unterschiedlichster Materialien, wie Metalle, Oxide und Nitride, auf Scheiben bis 200 mm Durchmesser. Es verfügt über eine Dreikammerkonfiguration für eine optimale Reaktorkonfigurationsflexibilität, einschließlich einer Lastschleuse-Initiationskammer, einer Prozesskammer und einer Nachbearbeitungskammer. Die Hauptkammer beherbergt eine vertikale Abscheideprozesszone und ein Quarzreaktorfenster mit einem mitgelieferten Verschluss zur Überwachung des Abscheideprozesses. Vom beheizten unteren Abschnitt der Kammer erstreckt sich ein keramisch beschichteter Duschkopf, der zur Dispergierung des Reaktionsgases dient und die Kammer während der Prozesseinleitung und -abschaltung spült. Das Reaktandengas wird durch einen in der Kammerseite befindlichen hochreinen, geschlitzten Gasinjektor in den Prozess eingeleitet. AIXTRON 2400 G3-HT verfügt über zwei hochtechnologische Temperaturregelungssysteme: eine thermoelektrische Kühl-/Heizeinheit zur Temperaturregelung zwischen 10 ° C und 600 ° C und eine Infrarotstrahlungsheizung. Diese ist mit einer internen mechanischen Steuerung gekoppelt, die den Waferhalter drehen kann, um eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung über den gesamten Radius größerer verarbeitbarer Waferdurchmesser zu ermöglichen. Der Reaktor ist zudem sehr prozessflexibel mit leicht installierbaren Einsätzen, die flexible Wachstumsbedingungen für eine Reihe von Wafergrößen bieten. Diese Einsätze können auch für Substratmaterialien mit Problemen der Wärmeausdehnung verwendet werden. Darüber hinaus bieten die HF- und DC-Netzteile eine hervorragende Prozess- und Abscheidungsreproduzierbarkeit. 2400 G3 HT wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt. Es verfügt über eine spülbare und prozesstolerante Entlüftungswelle für einen zuverlässigen Betrieb unter Vakuum. Der Gasinjektor ist so konstruiert, dass Verunreinigungen verhindert und das Entweichen der Prozessgase aus der Hauptkammer minimiert wird. Es umfasst auch statische Bindung und umfangreiche Erdung, die eine sichere und effektive Kontrolle des Partikelverhaltens bietet. Darüber hinaus verwendet der Reaktor ein Sperr- und SPS-System, um den Zugang zur Kammer zu kontrollieren, um die Sicherheit des Menschen zu gewährleisten. Insgesamt ist der AIXTRON 2400 G3 HT Reaktor eine fortschrittliche und zuverlässige Lösung für prozessintensive Anwendungen. Seine großflächige Konfiguration ermöglicht eine breite Palette von Waferanwendungen für Metalle, Oxide und Nitride und bietet gleichzeitig eine zuverlässige Prozessüberwachung sowie eine gleichmäßige Heizung und Kühlung. Darüber hinaus ist 2400G3 HT mit Blick auf Sicherheit und Prozesskontrolle konzipiert und bietet erweiterte Funktionen wie Bewegungsdisruptoren und HF-Netzteile.