Gebraucht AIXTRON 2600 G3 #9031068 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
2600 G3
ID: 9031068
MOCVD system 2001 vintage.
AIXTRON AIX 2600 G3 ist ein Remote Plasma Source Reaktor. Diese hochmoderne Lösung für die Herstellung von Halbleitern und Mikroelektronik wurde entwickelt, um eine hochpräzise Verarbeitung verschiedener Materialien wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid und anderen III-V-Substraten zu ermöglichen. Es verfügt über eine patentierte C2-Abscheidungstechnologie, die die Abscheidung von Verbindungen auf einem Substrat in einer kalten Umgebung ermöglicht. AIXTRON AIX 2600G3 besteht aus vielen Komponenten: einer Hochvakuumkammer, einer Prozessgasanlage, einer Turbomolekularpumpe, einem Kondensator und einem HF-Energieerzeuger. Es ultra-hohe Vakuumkammer ist aus Edelstahl gefertigt und ist ISO 5 Sauberkeit zertifiziert. Die Steuerung des Prozessgassystems erfolgt durch zwei Massenstromregler, die zur Abscheidung von Material aus alternativen Quellen oder einem Gas zur Verfügung stehen. Die Turbomolekularpumpe sorgt dafür, dass der Druck der Kammer zwischen 1 x 10-6 und 2 x 10-5 mbar bleibt. Der Kondensator ist der wichtigste Bestandteil von AIX 2600 G3; es speichert Energie, die dann geregelt an die Reaktorquelle abgegeben wird, so dass Ingenieure das Dünnschichtwachstum präzise steuern können. Schließlich ist der HF-Energieerzeuger für die Erzeugung sinusförmiger Hochfrequenzenergie verantwortlich. Alle diese Komponenten ermöglichen eine präzise Kontrolle der Abscheideprozesse, wodurch gewünschte Filmdicke, Gleichmäßigkeit, Stöchiometrie und Reinheit erreicht werden. AIX 2600G3 verfügt zudem über einen hohen Durchsatz von bis zu 12 Wafer-Plattformen pro Stunde und ist damit ein kostengünstiges und zuverlässiges Produktionswerkzeug. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine integrierte Messmaschine, die die Prozesssteuerung erleichtert. Abschließend ist AIXTRON AIX 2600 G3 ein fortschrittlicher Remote Plasma Source Reaktor, der die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien für die Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigung erleichtert. Seine hochmodernen Komponenten, wie seine Dual-Mass-Flow-Regler, Turbo-Molekularpumpe, Kondensator und HF-Energie-Generator, ermöglichen eine präzise Prozesssteuerung, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Der hohe Durchsatz und das integrierte Messwerkzeug machen es zu einem effizienten und zuverlässigen Fertigungswerkzeug.
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